王陽(yáng)元:征途漫漫中國“芯”
來(lái)源:由半導體產(chǎn)業(yè)縱橫(ID:ICVIEWS)轉自北京大學(xué)新聞網(wǎng)

人物簡(jiǎn)介:王陽(yáng)元,1935年1月生,浙江寧波人。1953年考入北京大學(xué)物理系,1958年畢業(yè)留校任教,1995年當選為中國科學(xué)院院士,是北京大學(xué)微電子學(xué)科奠基人和我國集成電路產(chǎn)業(yè)的開(kāi)拓者之一。主要從事微納電子學(xué)領(lǐng)域中新器件、新工藝和新結構電路的研究。

我出身于一個(gè)貧寒之家,我的父親按現在的說(shuō)法是一個(gè)個(gè)體戶(hù),經(jīng)營(yíng)柴米油鹽醬醋酒,養活著(zhù)一家人。盡管家境困難,但是父母對我們的要求極嚴,他們囑咐我們絕不可以與他人比吃比穿,唯有認真讀書(shū)求上進(jìn)是正道。
學(xué)校教育對我的成長(cháng)起的作用是關(guān)鍵性的。我有幸在一生中受教于三個(gè)百年名校,即柴橋小學(xué)、寧波中學(xué)和北京大學(xué)。
小學(xué)階段我就認真學(xué)習,從我記事起成績(jì)就一直名列前茅。如果在哪次考試中偶然得了第二名,我就感到對不起父母,羞愧難當。
1947年,我小學(xué)畢業(yè),以寧波市鎮海區統考第一名的成績(jì)考上了浙江省立寧波中學(xué)。1949年5月25日,在我中學(xué)二年級的時(shí)候,寧波解放了;同年10月,新中國成立了。
寧波解放之后,舟山群島還沒(méi)有完全解放,國民黨還盤(pán)踞在舟山群島,幾乎天天派飛機來(lái)轟炸。我不得不休學(xué)回到家。每天早上,我挑起裝著(zhù)全家細軟的籮筐跟著(zhù)家人去山里躲避,晚上飛機沒(méi)法來(lái)了,我們再回到家里。每天這樣來(lái)回奔波。
1950年5月19日,舟山群島全部解放,我們才穩定下來(lái)。休學(xué)半年后,我堅決要繼續讀書(shū),父母也不忍心耽誤我的學(xué)習,傾其所有,供我求學(xué),于是我恢復了中學(xué)學(xué)習。我中學(xué)的學(xué)習和此后大學(xué)的學(xué)習都是靠助學(xué)金才得以完成的,是人民培育了我,是黨培育了我。
對我一生影響最深的學(xué)校,除了北京大學(xué)之外,就數浙江寧波中學(xué)了。寧波中學(xué)是以治學(xué)嚴謹、管理有方而著(zhù)稱(chēng)的。中學(xué)階段對我來(lái)說(shuō)最大的影響有三個(gè):
第一,使我養成規律的生活習慣。入學(xué)以后我們學(xué)生全部住宿在學(xué)校里,過(guò)著(zhù)十分有規律的生活,這使我養成了讀書(shū)做學(xué)問(wèn)的好習慣。上課我專(zhuān)心聽(tīng)講,效率很高,因此課下我可以有很多時(shí)間去讀課外書(shū),獲取多種知識,這促使我在后來(lái)的科研中注意多方面積累知識,拓展思路。我在中學(xué)時(shí),把薩本棟的《普通物理學(xué)》看了,后來(lái)考北大物理系也和這有關(guān)。
第二,為我樹(shù)立了革命的進(jìn)步的人生觀(guān)。在課外書(shū)閱讀中,我閱讀了不少優(yōu)秀的文學(xué)作品,例如《鋼鐵是怎樣煉成的》《普希金詩(shī)篇》等,這些對我樹(shù)立正確的世界觀(guān)和人生觀(guān)都有著(zhù)深刻的影響。我特別喜歡《居里夫人傳》,為此,我立下了人生的志向:成為一名對祖國、對人民有貢獻的科學(xué)家。記得我當時(shí)寫(xiě)了一篇作文:《未來(lái)的科學(xué)家——宇耕在成長(cháng)》,“宇耕”是我給自己起的一個(gè)名字,意為“宇宙的耕耘者”。我的語(yǔ)文老師看了以后很高興,在班上還表?yè)P了我。這個(gè)從小立下的志向成為我日后工作的強大精神動(dòng)力。
第三,為我健康的體魄打下了基礎。我喜愛(ài)各種體育運動(dòng),每天去操場(chǎng)跑步,我曾經(jīng)是寧波中學(xué)中長(cháng)跑1500米和5000米田徑記錄的保持者。體育鍛煉不僅為我身體健康打下了基礎,而且我認為體育鍛煉與科學(xué)研究有許多地方是相通的。跑400米最累的是在200米左右彎道的地方,挺住了,你就能堅持到底;跑1500米時(shí),我最喜歡向終點(diǎn)沖刺的時(shí)刻,當大家都疲勞不堪時(shí),我喜歡鼓足力氣沖向終點(diǎn),去奪取勝利。搞科學(xué)研究、著(zhù)書(shū)立說(shuō)又何嘗不是如此呢?勝利往往產(chǎn)生于堅持,最困難的時(shí)候咬牙堅持下來(lái),就會(huì )接近勝利,越困難,越要堅持,最終就能享受勝利的喜悅。
中學(xué)階段,我就很喜歡物理課??既氡本┐髮W(xué)物理系是我的第一志愿,也是我人生道路的一個(gè)新起點(diǎn)。
剛到北京時(shí),我不太習慣,南方人也吃不慣饅頭。那時(shí)北京有沙塵暴,經(jīng)常飛沙走石,我全身過(guò)敏。1952年院系調整后,物理系招進(jìn)180多名同學(xué),上大課時(shí)會(huì )有300多人。大學(xué)的生活是比較艱苦的,當時(shí)我們住在第二體育館,我睡在看臺的水泥地上,鋪上一個(gè)草席就是床,個(gè)人用品放在枕頭邊上。
盡管條件艱苦,但是我的信念就是“求學(xué)”“學(xué)問(wèn)”:求學(xué)就是求著(zhù)學(xué);學(xué)問(wèn)就是學(xué)著(zhù)問(wèn)。這是我最難忘的時(shí)期之一。
經(jīng)過(guò)院系調整,北大物理系大師云集。我非常榮幸地接觸到了黃昆、王竹溪、虞福春、周光召等物理學(xué)大師。我進(jìn)入北京大學(xué)后的第一位老師就是黃昆教授。黃昆教授嚴謹的治學(xué)態(tài)度和對物理學(xué)深入剖析及卓越的邏輯思維能力,對我一生的治學(xué)都有著(zhù)深刻的影響。在很多方面,他影響著(zhù)我的科學(xué)研究和培養學(xué)生的方法。
在學(xué)習過(guò)程中,我逐漸掌握了學(xué)習的規律。除了聽(tīng)課以外,討論也是非常好的學(xué)習方式。我每天吃完晚飯就和同學(xué)討論問(wèn)題,往往就一個(gè)物理概念爭論不休,有時(shí)爭論得面紅耳赤,當有了統一認識,大家才相對一笑欣然而散。
當時(shí)考試是學(xué)習蘇聯(lián)的口試形式??荚嚂r(shí)老師坐在一個(gè)教室,我們抽簽,抽到題先在另一個(gè)教室準備,然后去和老師面對面答題。我的多數考試成績(jì)都是優(yōu),特別是黃昆教授的兩次口試,我都取得了很好的成績(jì),他還問(wèn)過(guò)我:“你以前是不是當過(guò)老師?”
但也有教訓,有一次數理方程課的考試,我之前有一個(gè)問(wèn)題沒(méi)有深入理解,于是死記硬背想記住它,結果考試我恰好抽到這道題,但死記硬背的知識應付不了口試,這門(mén)課我最終的成績(jì)是及格。
正如毛主席所說(shuō):“感覺(jué)到了的東西,我們不能立刻理解它;只有理解了的東西才能更深刻地感覺(jué)它?!保ā睹珴蓶|選集》第一卷,人民出版社1991年版,第286頁(yè))這個(gè)教訓讓我終生難忘,此后我治學(xué)、科研一定要求自己做到徹底理解搞懂。我也是這樣教育我的學(xué)生的。
1956年,周總理親自主持制定了《1956—1967年科學(xué)技術(shù)發(fā)展遠景規劃綱要》(簡(jiǎn)稱(chēng)為《十二年科學(xué)技術(shù)發(fā)展規劃》),半導體是重點(diǎn)方向之一,五校(北京大學(xué)、復旦大學(xué)、南京大學(xué)、廈門(mén)大學(xué)和東北人民大學(xué))在北京大學(xué)聯(lián)合舉辦半導體專(zhuān)門(mén)化,培養人才。
北京大學(xué)又云集了一批以黃昆教授和謝希德教授為首的優(yōu)秀半導體教師,我有幸作為第一批學(xué)生被重點(diǎn)培養,學(xué)習有關(guān)半導體理論與技術(shù)的多方面知識,這為我長(cháng)期在微電子領(lǐng)域開(kāi)展工作奠定了扎實(shí)的基礎。

1958年,我畢業(yè)之年,集成電路在美國發(fā)明,揭開(kāi)了信息時(shí)代微電子芯片創(chuàng )新的序幕。從此我就與集成電路結下了終身之緣。
到2019年,集成電路已經(jīng)發(fā)明61年,它已如同組成人體的細胞一樣,和軟件一起成為信息社會(huì )的基礎元素,無(wú)處不在,成為人們生活和產(chǎn)業(yè)發(fā)展中不可或缺的必需品。集成電路的科學(xué)技術(shù)水平和產(chǎn)業(yè)規模已成為衡量一個(gè)國家綜合實(shí)力的標志之一,是當之無(wú)愧的國之重器。
從教61年來(lái),我體會(huì )最深的兩句話(huà)是:科學(xué)研究的本質(zhì)在于創(chuàng )新,教書(shū)育人的靈魂在于啟迪。在我的科研之路上發(fā)生了很多事,在此我想重點(diǎn)回憶六件事。
硅柵N溝道1024位MOS動(dòng)態(tài)隨機存儲器的研發(fā)過(guò)程
1969年,我們聚焦于研發(fā)大規模集成電路。那個(gè)時(shí)期,我在反復思考一個(gè)問(wèn)題:選擇什么樣的課題才能對國家微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展有更大貢獻,并能立足國際微電子技術(shù)發(fā)展前沿?帶著(zhù)這個(gè)問(wèn)題,我和同事們開(kāi)展了深入的調查研究。
在調研過(guò)程中,圖書(shū)館常有一個(gè)角落的燈光亮到凌晨?jì)扇c(diǎn)。經(jīng)過(guò)近半年時(shí)間的調查研究和數十次的專(zhuān)業(yè)討論,大家一致認為:硅集成電路存儲器由于其穩定、可靠并可以低成本大批量生產(chǎn)的特性,必將替代磁芯存儲器;而在半導體存儲器中,當時(shí)又以硅柵N溝道技術(shù)性能最好,集成密度又高,因此硅柵N溝道技術(shù)必然能成為對產(chǎn)業(yè)最有影響力的微電子前沿技術(shù)。
我們最后選定了這個(gè)方向,決心研制硅柵N溝道1024位MOS動(dòng)態(tài)隨機存取存儲器(DRAM)。我擔任該課題領(lǐng)導小組組長(cháng)。
經(jīng)過(guò)6年多堅持不懈的奮斗,我們采用了多種途徑來(lái)消除技術(shù)瓶頸的困擾,在無(wú)數次失敗的基礎上總結科學(xué)規律,終于克服了設計掩膜版制作、硅柵薄膜生長(cháng)和氧化層離子沾污等多項技術(shù)難題,1975年研制成功了國內第一塊3種類(lèi)型(硅柵P溝道、鋁柵N溝道和硅柵N溝道)1024位MOS動(dòng)態(tài)隨機存取儲存器,獨立自主地開(kāi)發(fā)出了全套硅柵N溝道技術(shù),被稱(chēng)為我國MOS集成電路技術(shù)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展過(guò)程中具有里程碑意義的事件。
它比Intel公司研制成功硅柵N溝道MOS DRAM只晚了4年,因此獲得了1978年全國科學(xué)大會(huì )獎。研究的過(guò)程非常艱辛,有人說(shuō)是這用“汗水”澆灌成的,我說(shuō)是用“鮮血”凝成的,因為每研制成功一塊電路,我的十二指腸就會(huì )出血一次,最嚴重的一次是我從實(shí)驗室走廊被直接送到北醫三院去急救。
我們獲得初步成功和成果之后,沒(méi)有孤芳自賞。為了提高全國集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)水平,我們組織了3期短訓班,無(wú)償地將苦苦奮斗了6年得到的科研成果的設計版圖轉給20多個(gè)單位。不僅如此,我們還派出小分隊去相關(guān)公司講課、輔導,幫助同行解決技術(shù)上的困難,讓他們以最快的速度使我國MOS集成電路技術(shù)和產(chǎn)業(yè)水平上了一個(gè)新的臺階。北京大學(xué)微電子學(xué)研究所也因此一直被認為是硅柵N溝道技術(shù)的主要發(fā)源地和開(kāi)拓者。
奮戰“1024”的革命精神和科學(xué)分析精神一直是我們微電子學(xué)研究所的光榮傳統,也是我們此后不斷取得科技攻關(guān)勝利的寶貴精神力量?!?024”精神就是面對國家的急需,不怕困難,迎難而上,分析困難,解決困難,是大無(wú)畏的革命精神與理性地提出問(wèn)題、分析問(wèn)題和解決問(wèn)題的科學(xué)精神相結合的典范。
多晶硅薄膜物理和MOS絕緣層物理研究
在總結硅柵N溝道1024位MOS動(dòng)態(tài)隨機存取存儲器研制經(jīng)驗基礎上,我認為還有兩個(gè)技術(shù)的科學(xué)規律沒(méi)有被充分理解與掌握,需要我們進(jìn)一步加強研究。于是,我們開(kāi)展了對多晶硅薄膜物理和MOS絕緣層物理的系統研究。
在多晶硅薄膜研究方面,我們首先針對多晶硅薄膜氧化層增強氧化現象對集成電路成品率和性能影響這一關(guān)鍵因素進(jìn)行研究。對多晶硅薄膜存在晶粒間界的物理特征,提出了是晶粒間界在氧化過(guò)程產(chǎn)生的應力導致了氧化增強現象的觀(guān)點(diǎn)。為此開(kāi)展的TEM(透射電子顯微鏡)實(shí)驗證明了這個(gè)推測理論的正確性,我們還總結提出“應力增強氧化”模型,進(jìn)一步據此推導出了指導多晶硅薄膜氧化的工程方程和特征參數。
MOS絕緣層物理研究則是另一個(gè)來(lái)源于實(shí)踐過(guò)程的研究課題,當時(shí)在1024位MOS DRAM研究過(guò)程里柵氧化層中離子沾污引起的硅表面反型和閾值電壓不確定,導致我們1024位存儲器常常做不出來(lái),這促成了我們多位教授(主要是譚長(cháng)華、許銘真、吉利久等)之間的合作,系統研究氧化層中離子沾污的測試方法和它的規律,這些工作的深入研究使北大微電子所MOS絕緣層物理研究室躍進(jìn)了世界水平的行列。
研究科學(xué)問(wèn)題要善于抓住事物的本質(zhì)特征,例如多晶硅薄膜的本質(zhì)特征是存在晶粒間界,然后以此出發(fā),提出問(wèn)題,分析問(wèn)題,并解決問(wèn)題。這是對一個(gè)從事教學(xué)和科研的人員的基本素質(zhì)要求。
ICCAD三級系統和集成電路產(chǎn)品開(kāi)發(fā)
20世紀80年代初,我國加****展集成電路產(chǎn)業(yè)的力度,為此首先要發(fā)展設計業(yè)。誰(shuí)掌握集成電路計算機輔助設計(ICCAD)工具(被稱(chēng)為“皇冠上的明珠”),誰(shuí)就掌握了主動(dòng)權。
當時(shí)我國政府曾與法國談判,試圖通過(guò)技術(shù)引進(jìn)來(lái)解決軟件工具的源程序問(wèn)題,但由于“巴黎統籌委員會(huì )”對華禁運高新技術(shù),使我們下決心自己組織力量來(lái)開(kāi)發(fā)大規模集成電路計算機輔助設計系統。
這是一項戰略性的任務(wù)。時(shí)任電子工業(yè)部部長(cháng)李鐵映同志專(zhuān)門(mén)邀請我出來(lái)?yè)V。1986年,我受命擔任全國ICCAD專(zhuān)家委員會(huì )主任和全國ICCAT專(zhuān)家委員會(huì )主任。為確保成功完成這項使命,在電子工業(yè)部和微電子局的領(lǐng)導下,我組織總體組,設定了以研制成功滿(mǎn)足產(chǎn)業(yè)發(fā)展和國防建設需要的具有自主知識產(chǎn)權的集成化、實(shí)用化的大型ICCAD系統為目標;組織了全國包括高等院校、科學(xué)院和工業(yè)研究部門(mén)各單位從事ICCAD軟件工具開(kāi)發(fā)研究與應用的優(yōu)秀人才,聯(lián)合攻關(guān)、集中開(kāi)發(fā);同時(shí),組織力量,引進(jìn)國外先進(jìn)技術(shù)和人才,制定了國內外相結合的工作方針。
在全國聯(lián)合攻關(guān)會(huì )上,我說(shuō):“國家的需要就是我們科技人員報效祖國的方向,現在就是我們報國的最好時(shí)機。我們一定要急國家所急。我們一定要科學(xué)分析,鍥而不舍,集中力量打殲滅戰,解決問(wèn)題?!薄安唤鉀Q這個(gè)問(wèn)題,我‘決不罷休’!”
經(jīng)過(guò)6年的奮斗,我們成功研制了全國第一個(gè)按軟件工程方法開(kāi)發(fā)的大型集成化的超大規模集成電路計算機輔助設計系統,該項目獲得國家科技進(jìn)步一等獎。這使我國繼美國、西歐、日本之后進(jìn)入能自行開(kāi)發(fā)大型ICCAD系統的先進(jìn)國家行列,不僅打破了西方國家對我實(shí)行的封鎖,而且為我國集成電路設計業(yè)奠定了重要的技術(shù)基礎。這一成果使我國揚眉吐氣,從此能夠在平等基礎上與西方國家談國際合作與交流。這是我最自豪的一件事。
1992年,時(shí)任國家主席***等中央領(lǐng)導親自聽(tīng)取我們的成果匯報。時(shí)任機電部副部長(cháng)曾培炎同志指著(zhù)我對李鐵映同志說(shuō):“你當年把他請出來(lái)主持這項工作,現在他圓滿(mǎn)地完成了任務(wù)?!?/span>
參與特種應用集成電路的研究
現代戰爭是信息化戰爭,微電子是信息化裝備的基礎,建設自主的微電子預研體系則是一項基礎工程。1988年,中國電子科學(xué)研究院組建電子預研管理機構,成立了先進(jìn)微電子技術(shù)專(zhuān)家組,邀請我擔任組長(cháng)。在此基礎上,1990年國防科工委成立了微電子技術(shù)專(zhuān)業(yè)組,我同時(shí)擔任國防科工委科技委兼職委員和微電子專(zhuān)業(yè)組組長(cháng),組織開(kāi)展先進(jìn)微電子預研系統建設。
王陽(yáng)元在實(shí)驗室
當時(shí)國家建設亟須一種“1750”的先進(jìn)技術(shù),也是國外對我們封鎖的技術(shù)之一。為此,國防科工委給我們下命令,必須兩年內研究出來(lái)該技術(shù)。我們在廬山召開(kāi)會(huì )議,面對國際的封鎖,大家群情激奮!
我說(shuō):“軍威是國威的集中表現,能夠參與我國的先進(jìn)裝備建設,是我最興奮、最有激情的事,也是我們科研人員的報國之機?!?/span>
為此,我們組織了兩個(gè)攻關(guān)小組,都立下了軍令狀,下定決心,排除萬(wàn)難。最終我們如期攻克了這個(gè)難關(guān),及時(shí)滿(mǎn)足了裝備的需要。這也是我非常自豪、非常興奮的一件事。擴展集成微系統研究,創(chuàng )建國家級微米與納米加工技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗室發(fā)展未有窮期,奮斗永不言止。
20世紀90年代初,以硅馬達的研制成功為標志的微機電系統(MEMS)開(kāi)始發(fā)展。這是一個(gè)新的硅集成微系統發(fā)展方向,不僅可以與精密機械系統相結合,而且是可以廣泛地與光學(xué)、生物、醫學(xué)、生命科學(xué)、化學(xué)、物理學(xué)和數學(xué)等多學(xué)科交叉發(fā)展的一門(mén)新興技術(shù)學(xué)科。北大是一所多學(xué)科綜合性大學(xué),具有發(fā)展這一學(xué)科的優(yōu)勢。在學(xué)校支持下,我與同事們一起向國家有關(guān)部門(mén)申請獲批,1996年在北大建立了國家級重點(diǎn)實(shí)驗室,我任主任。
實(shí)驗室一開(kāi)始定位有四原則:
(1) 必須是國際先進(jìn)水平的;
(2) 組織力量,自力更生,解決關(guān)鍵的“卡脖子”問(wèn)題,旨在從根本上提升我國MEMS研發(fā)水平;
(3) 向國內外開(kāi)放,培養人才,特別要開(kāi)放給博士生,讓他們有自己動(dòng)手的機會(huì );
(4) 注重科技成果向產(chǎn)業(yè)轉移,促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
經(jīng)過(guò)10年的奮斗,我們終于建立了我國第一個(gè)與集成電路兼容的MEMS設計和加工平臺,開(kāi)發(fā)了三套具有自主知識產(chǎn)權的工藝加工技術(shù),發(fā)布了第一套MEMS CAD設計軟件。
耶魯大學(xué)校長(cháng)理查德在參觀(guān)我們實(shí)驗室后回到美國,在《紐約時(shí)報》發(fā)表文章說(shuō):“我在北京大學(xué)參觀(guān),看到他們有可以從事兩種工藝研究的兩條生產(chǎn)線(xiàn)實(shí)際上不應叫作生產(chǎn)線(xiàn),翻譯問(wèn)題,應是兩條實(shí)驗線(xiàn)?!髡咦?,他們的裝備和技術(shù)的先進(jìn)性,即使在國外大學(xué)里面也很難找到與之相媲美的?!?/span>
2006年,“硅基MEMS技術(shù)及應用研究”項目獲得國家技術(shù)發(fā)明獎二等獎。
創(chuàng )建中芯國際
1999年,在黨中央國務(wù)院對高新技術(shù)發(fā)展高度重視和國民經(jīng)濟高速發(fā)展的形勢下,我國微電子產(chǎn)業(yè)建設迎來(lái)了一個(gè)新的快速發(fā)展時(shí)期。在總結國際集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展規律以及我國集成電路產(chǎn)業(yè)幾十年來(lái)發(fā)展歷程的基礎上,我認為我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵在于:在機制上要有所創(chuàng )新,要突破傳統模式,走開(kāi)放改革之路;要利用國內、國際兩種資源,面向國內、國際兩個(gè)市場(chǎng),引進(jìn)組織國際化的一流愛(ài)國團隊和技術(shù),共同創(chuàng )建我國具有世界先進(jìn)水平的集成電路制造企業(yè)。
1999年年底,適逢張汝京博士等一行來(lái)國內考察建設集成電路生產(chǎn)線(xiàn)的可能性,經(jīng)過(guò)信息產(chǎn)業(yè)部有關(guān)人士的介紹,我們當即約定會(huì )面。和張先生見(jiàn)面后,我首先闡述了建設集成電路生產(chǎn)線(xiàn)的建議和可行性,隨后在他們考察的基礎上,我們第二次在深圳聽(tīng)取了他們的報告,共同討論合作建設的方案和措施。這真是“天時(shí)、地利、人和”,就是這短短兩次的會(huì )談,成就了中芯國際集成電路制造有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)中芯國際)的創(chuàng )建。
2000年1月,中芯國際召開(kāi)了第一屆董事會(huì ),決定總部設在上海。2000年8月,中芯國際在上海浦東張江正式破土動(dòng)工,13個(gè)月后,2001年9月25日即建成投產(chǎn)。2003年,中芯國際一廠(chǎng)被世界知名的《半導體國際》評為全球最佳半導體廠(chǎng)之一。
在北京市政府的大力支持下,2002年9月,我國第一個(gè)晶片直徑300 mm的集成電路制造廠(chǎng)在北京亦莊興建,僅用了2年時(shí)間。2004年9月25日,300 mm納米級的集成電路制造廠(chǎng)正式投產(chǎn)。時(shí)任北京市委書(shū)記劉淇和市長(cháng)王岐山同志親自參加了投產(chǎn)典禮。時(shí)任國務(wù)院總理溫家寶和國務(wù)院其他領(lǐng)導,以及著(zhù)名科學(xué)家周光召院士、師昌緒院士等先后視察300 mm廠(chǎng)的生產(chǎn)情況,對我們倍加贊賞。
中芯國際最核心的理念是貫徹改革開(kāi)放精神,開(kāi)創(chuàng )了一個(gè)與國際接軌的運作模式,不僅在資本、技術(shù)、市場(chǎng)、人才等各個(gè)方面充分利用國內外兩種資源,同時(shí)也為逐步培養我國本土人才和進(jìn)行自主研發(fā)提供了一個(gè)技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化的平臺?!吨袊呻娐樊a(chǎn)業(yè)全書(shū)》的主要編委們經(jīng)過(guò)認真討論,一致認為中芯國際的創(chuàng )建在我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展中具有里程碑意義。
從創(chuàng )立中芯國際開(kāi)始,我一直擔任其國內企業(yè)的董事長(cháng)和法人代表,后又任其國際企業(yè)的董事長(cháng)。張汝京開(kāi)始任國際企業(yè)董事長(cháng)和所有公司的CEO。2009年,在與中芯國際共同經(jīng)歷10年風(fēng)雨之后,我辭去了中芯國際董事和董事長(cháng)職務(wù),改任中芯國際名譽(yù)董事長(cháng)和首席科學(xué)家。
在我離開(kāi)董事長(cháng)崗位時(shí),中芯國際董事會(huì )贈送給我一個(gè)特意制作的紀念鼎,上面刻著(zhù):“王陽(yáng)元教授,作為創(chuàng )始人之一,于2000—2009年期間,在創(chuàng )立和建設中芯國際集成電路制造有限公司的過(guò)程中,無(wú)私奉獻,建立了不可磨滅的歷史性功績(jì),為中國和世界集成電路產(chǎn)業(yè)和科學(xué)技術(shù)的發(fā)展作出了卓越的貢獻?!?/span>

大學(xué)的根本任務(wù)就是培養學(xué)生。宋代胡瑗說(shuō)過(guò):“致天下之治者在人才,成天下之才者在教化,教化之所本者在學(xué)校?!?/span>
我一直說(shuō):“只要人類(lèi)社會(huì )存在,教育就是永恒的主題;只要人的生命存在,學(xué)習就是不竭的任務(wù)。教育的靈魂在于啟迪!”
教師的根本使命也是培養人才,學(xué)生要一代更比一代強,長(cháng)江后浪推前浪。在歷史的長(cháng)河中,我們的生命只有幾十年,十分短暫,但是如果我們能夠將知識、經(jīng)驗、智慧傳承下去,一代一代學(xué)生薪火相傳,就如同滾滾長(cháng)江川流不息,我們的生命也會(huì )被無(wú)限延長(cháng)。
我認為不同的學(xué)習階段有不同的教育規律。在本科階段,我主張“大本科”,希望同學(xué)們打好扎實(shí)的基礎,我們雖然不能要求人人都能學(xué)貫中西、融通古今,但基礎要扎實(shí)、知識面要廣一些。文科學(xué)生要選修一些理科的課程,在信息時(shí)代選修一些信息科學(xué)技術(shù)的基礎課程,懂得一些知識,比如芯片是什么、基礎軟件是什么;同樣,理工科學(xué)生也要選一些人文社會(huì )科學(xué)學(xué)科的課程,要讀一些中華好詩(shī)詞,這有助于他們建立正確的世界觀(guān)、價(jià)值觀(guān)和人生觀(guān),提高其文化內涵和修為素養。
在研究生階段,則要強調培養學(xué)生們提出問(wèn)題、分析問(wèn)題和解決問(wèn)題的能力。愛(ài)因斯坦曾說(shuō):“提出一個(gè)問(wèn)題往往比解決一個(gè)問(wèn)題更為重要,因為提出新的問(wèn)題、新的可能性,從新的角度看舊問(wèn)題,都需要創(chuàng )造性想象力,而且標志著(zhù)科學(xué)的真正進(jìn)步?!蔽覀儗Ρ贝笪㈦娮訉?zhuān)業(yè)學(xué)生的教育,特別注重對其提出問(wèn)題意識的培養。我相信,優(yōu)秀的研究生必定會(huì )在重要的國際會(huì )議上嶄露頭角。
20世紀八九十年代,我曾幾次參加或率領(lǐng)教育部組織的團隊去參加被認為是在電子器件領(lǐng)域最具權威性和標志性的國際會(huì )議——國際電子器件會(huì )議(International Electron Devices Meeting,IEDM)。因為當時(shí)我們沒(méi)有被錄用的論文,代表團的教授們聚在一起晚餐時(shí),大家都有很多期盼,期待我們有論文在會(huì )上報告,期待我們有發(fā)言權。這個(gè)愿望在2008年實(shí)現了,以后一直延續下去。
北大微納電子學(xué)科的學(xué)生在這個(gè)會(huì )議上每年發(fā)表的論文平均數可與世界名校相媲美??梢哉J為,我們在這方面的研究水平已進(jìn)入世界先進(jìn)行列,而實(shí)現這個(gè)愿望的是以我的學(xué)生為主體的年輕團隊。當教師的喜悅莫過(guò)于此。
還有一個(gè)例子,電子器件學(xué)會(huì )(EDS)每年都要從全球評選出優(yōu)秀博士論文獎學(xué)金獲得者,名額為4—5名,亞洲僅有1名。但2008—2015年這8年間,北大有4名博士生獲此獎勵。這就是說(shuō),不僅包括國內著(zhù)名高校,而且包括整個(gè)亞洲許多世界級名校在內,有50%的獲獎?wù)呤潜贝髮W(xué)生。他們?yōu)閲鵂幑?,也為北大爭光。我為北大有這樣的學(xué)生而感到驕傲!
從教61年,我先后培養了26名碩士生、59名博士生和18名博士后。
教育是千秋萬(wàn)代的事業(yè),北京大學(xué)要持續發(fā)展,一定要珍惜優(yōu)秀學(xué)生資源,優(yōu)秀學(xué)生資源是北大最寶貴的財富。教育的成功與否,關(guān)鍵就在于要建設一支綜合素質(zhì)高、有活力、老中青結合、以中青年為主體、結構合理的教師隊伍,使北大優(yōu)秀的傳統代代相傳,不斷發(fā)揚。
2001年王陽(yáng)元與集成電路創(chuàng )始人諾貝爾獎獲得者J KILBY在一起

習近平總書(shū)記指出:“重大科技創(chuàng )新成果是國之重器、國之利器,必須牢牢掌握在自己手上,必須依靠自力更生、自主創(chuàng )新?!薄罢嬲拇髧仄?,一定要掌握在自己手里。核心技術(shù)、關(guān)鍵技術(shù),化緣是化不來(lái)的,要靠自己拼搏?!奔呻娐纷鳛椤皣仄鳌?,一定要握在自己手里。我也非常有幸能夠從事集成電路這一國之重器的研究。
如今,在中美貿易摩擦的背景下,打造中國“芯”的呼聲,從民間到“廟堂”都非常高漲,芯片與中華民族的復興如此密切地結合在一起。
我相信,我們一定能打造出世界前沿的“中國芯”。鑄造中國芯,確實(shí)走過(guò)了漫漫征途,這里有內部因素和外部因素:內部因素是我們對集成電路的戰略性和市場(chǎng)性的雙重特性認識不足,外部因素則是西方國家對我國實(shí)行技術(shù)封鎖、禁運和打壓。
但這種封鎖和打壓只能更激起中國人民,尤其是技術(shù)人員的報國激情和戰斗意志。在中國共產(chǎn)黨領(lǐng)導下,這股愛(ài)國之情和創(chuàng )新能力必將使西方國家的禁運、斷供折戟沉沙于太平洋中。發(fā)展中國芯,需要創(chuàng )新,要創(chuàng )新最重要的還是具有創(chuàng )新能力的人才,而培養綜合素質(zhì)高、創(chuàng )新能力強的人才,歸根到底需要教育。
國家所需就是我們的研究方向。作為一名科研人員,選擇研究方向時(shí),就是要考慮國家的需要和科研的前沿??茖W(xué)沒(méi)有國界,但是科學(xué)家是有祖國的。實(shí)驗室就是科研人員報效祖國的“戰場(chǎng)”。
王陽(yáng)元在書(shū)房前
科研工作者從事國家急需的事業(yè),這是理所當然的,也是報國最好的時(shí)機。當然,不是說(shuō)所有的科研人員都要從事高新技術(shù)研究,一些基礎研究是非常重要的,從長(cháng)遠的角度看,對科學(xué)事業(yè)有更深刻的影響,對民族的發(fā)展具有更深遠的意義,即使從事基礎研究,也要懷著(zhù)愛(ài)國之情、報國之心??傊?,我們一生中不管怎么選擇,最重要的是一生的奮斗過(guò)程一定是與國家的發(fā)展、國家的戰略需求、民族復興聯(lián)系在一起的。心系祖國,胸懷全球,終生奮斗,必有所成。這樣度過(guò)的一生,不管你的職位高低、財富多寡、能力大小,都將是有意義的一生。
我國集成電路產(chǎn)業(yè)和科技的創(chuàng )新發(fā)展,必將為全球集成電路產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展作出中華民族特有的貢獻!我國集成電路科學(xué)技術(shù)和產(chǎn)業(yè)的強盛之日不會(huì )讓我們等待太久!
北京大學(xué)有著(zhù)優(yōu)良的傳統和光輝的歷史,是一方培養高質(zhì)量人才、出高質(zhì)量科技成果的沃土。我很喜歡曹操《觀(guān)滄?!返脑?shī),引用了其中幾句,但在上面加上了兩句描述北大的話(huà):西山逶迤,未名漣漪。星漢燦爛,若出其中。日月之行,若出其里。希望同學(xué)們在未名湖畔、博雅塔下,不忘初心、牢記使命,銳意進(jìn)取,鍥而不舍,把自身的前途命運同國家和民族的命運緊緊聯(lián)系在一起,為建設世界科技強國、為中華民族的偉大復興作出更大貢獻!
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