光譜共焦位移傳感器的原理是什么?能應用那些領(lǐng)域?
光譜共焦位移傳感器作為一種新興的高精度測量設備具有非接觸式、高精度、高穩定性、大角度、高采樣頻率等測量特性。那么作為一家新型的測量技術(shù),光譜共焦的原理是什么呢:
一束白光(或多波長(cháng)混合光)經(jīng)過(guò)一個(gè)小孔,經(jīng)過(guò)鏡頭將不同的波長(cháng)聚焦到光軸上,色散地形成一條彩虹狀分布帶,照射到樣品上,部分反射光反射回去。(如下圖左所示)照射在光軸與物體表面交點(diǎn)的光經(jīng)過(guò)分光部件,通過(guò)小孔照射到光譜分析儀。根據波長(cháng)計算就可以獲得鏡頭到被測物距離(下圖右所示)。
光譜共焦位移傳感器的原理是什么?能應用那些領(lǐng)域?
作為新型的非接觸式高精度測量設備,精度可以達到亞微米級別,比如可以用來(lái)測量透明物體的厚度,以及輪廓、位移、高度、2d3d曲面弧度掃描、不透明物體的厚度測量、振動(dòng)測量、深孔、液位測量、微槽、平面度測量等等。
光譜共焦位移傳感器的原理是什么?能應用那些領(lǐng)域?
在手機行業(yè),比如曲面蓋板玻璃檢測、手機主板檢測、按鍵尺寸或高度檢測、芯片檢測、攝像頭模組檢測、手機攝像頭模組檢測等等。半導體行業(yè),芯片引腳平整度檢測,晶圓深度和厚度檢測。玻璃測量,如厚度、弧度等一些要求精度高的產(chǎn)品。
聽(tīng)完立儀小編的分享,相信大家對光譜共焦有了個(gè)大概的了解,更多關(guān)于光譜共焦咨詢(xún)歡迎關(guān)注本公司。
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