光譜共焦的測量原理及厚度測量模式

光譜共焦位移傳感器通過(guò)一束白光（或多波長(cháng)混合光） 經(jīng)過(guò)一個(gè)小孔，經(jīng)過(guò)鏡頭將不同的波長(cháng)聚焦到光軸上， 色散地形成一條彩虹狀分布帶，照射到樣品上，部分反射光反射回去。沒(méi)有照射在光軸與物體表 面交點(diǎn)的光經(jīng)過(guò)分光部件， 照射在另一個(gè)小孔周?chē)?阻擋，無(wú)法照射到光譜分析儀，不會(huì )干擾測量。照射在光軸與物體表面交 點(diǎn)的光經(jīng)過(guò)分光部件，通 過(guò)小孔照射到光譜分析儀。根據波長(cháng)計算就可以獲得鏡頭到被測物距離。今天，小編介紹光譜共焦位移傳感器檢測原理和厚度檢測模型。

光譜共焦檢測技術(shù)分析特定表面上不一樣波度的聚點(diǎn)位置，以實(shí)現精確的尺寸檢測和微觀(guān)形態(tài)分析。根據該檢測原理，特定波度的可以聚點(diǎn)在樣品的前面，而對于透明材料樣品，兩種不一樣波度的可以聚點(diǎn)在樣品的前面和后面。這是光譜共焦點(diǎn)提供的兩種檢測模式(位移檢測模式、厚度檢測模式)。

厚度檢測模式：

檢測玻璃、透鏡等透明樣品時(shí)，波度不一樣的兩條線(xiàn)可以聚點(diǎn)在樣品的前后表面，獲得樣品折射系數參數后計算樣品的厚度值。共焦檢測較大，與卡尺等傳統接觸檢測工具相比，具有所有非接觸檢測的優(yōu)點(diǎn)，也具有通過(guò)單側檢測獲得樣品厚度值的特性。

折射系數直接影響厚度檢測的數據精度，因此在檢測開(kāi)始時(shí)應先檢查樣品的返射率。返射率可以參考相似材質(zhì)的數值，但為了獲得更精確的厚度檢測結果，必須使用返射率計檢測樣品的返射率。