<dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn><dfn id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></dfn><dfn id="yhprb"></dfn><dfn id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></dfn><dfn id="yhprb"></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"><strike id="yhprb"></strike></s></dfn><small id="yhprb"></small><dfn id="yhprb"></dfn><small id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></small><small id="yhprb"></small><small id="yhprb"></small> <delect id="yhprb"><strike id="yhprb"></strike></delect><dfn id="yhprb"></dfn><dfn id="yhprb"></dfn><s id="yhprb"><noframes id="yhprb"><small id="yhprb"><dfn id="yhprb"></dfn></small><dfn id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></dfn><small id="yhprb"></small><dfn id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn> <small id="yhprb"></small><delect id="yhprb"><strike id="yhprb"></strike></delect><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn><dfn id="yhprb"></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"><strike id="yhprb"></strike></s></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn>
"); //-->

博客專(zhuān)欄

EEPW首頁(yè) > 博客 > 被壟斷40年!半導體制造“大腦”迎融資熱,國產(chǎn)MES企業(yè)春天來(lái)了?

被壟斷40年!半導體制造“大腦”迎融資熱,國產(chǎn)MES企業(yè)春天來(lái)了?

發(fā)布人:芯東西 時(shí)間:2021-11-16 來(lái)源:工程師 發(fā)布文章
大基金、華為哈勃、華登國際一眾資本涌入國產(chǎn)半導體MES賽道。

作者 |  高歌
編輯 |  Panken芯東西11月15日報道,近日,美國對半導體供應鏈各個(gè)廠(chǎng)商關(guān)鍵信息的要求期限剛剛截止,臺積電、三星電子等晶圓制造商是否會(huì )提交敏感信息等引起了全網(wǎng)熱議,晶圓廠(chǎng)商數據的重要性也得到了廣泛的討論。在晶圓廠(chǎng)中,每片晶圓的生產(chǎn)、庫存信息都要匯總到MES(Manufacturing Execution System,制造執行系統)中,供操作員、工藝工程師、設備工程師和晶圓廠(chǎng)管理層等晶圓廠(chǎng)工作人員對芯片生產(chǎn)進(jìn)行查看、管理和調度。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),MES系統就如同晶圓廠(chǎng)的大腦一樣。而在半導體MES領(lǐng)域,絕大部分12英寸晶圓廠(chǎng)系統恰恰被美國科技巨頭IBM和美國半導體設備巨頭應用材料所壟斷。國產(chǎn)MES系統能否突圍,打破IBM和應用材料兩大巨頭的壟斷,無(wú)疑對國產(chǎn)芯片制造有著(zhù)重要的意義。


上千步工序構成半導體MES壁壘14nm產(chǎn)線(xiàn)年數據量超140TB


在晶圓廠(chǎng)中,MES系統需要負責從訂貨到最終芯片成品全過(guò)程的生產(chǎn)活動(dòng)。簡(jiǎn)單來(lái)講,MES就是晶圓廠(chǎng)生產(chǎn)管理的自動(dòng)化系統,需要對工廠(chǎng)的實(shí)時(shí)事件進(jìn)行反應、報告,并用數據對其進(jìn)行指導和處理。根據企業(yè)管理層次模型,MES系統是生產(chǎn)活動(dòng)和管理活動(dòng)信息溝通的橋梁,強調當前精確的實(shí)時(shí)數據。具體來(lái)說(shuō),工廠(chǎng)產(chǎn)線(xiàn)不同工序線(xiàn)上每種產(chǎn)品的多少、型號、交貨時(shí)間,產(chǎn)線(xiàn)和加工設備是否在空轉、停轉,產(chǎn)線(xiàn)上下料情況等都是MES系統需要跟蹤和管理的問(wèn)題。而在半導體晶圓廠(chǎng)中,一顆芯片需要經(jīng)過(guò)薄膜沉積、光刻膠涂敷、光刻顯影、刻蝕、量測、清晰、離子注入等多個(gè)環(huán)節和工序,在12英寸產(chǎn)線(xiàn)中工序甚至可以達到上千步。因此每顆芯片在生產(chǎn)中的數據都十分龐大,其數據量級也隨著(zhù)制程演進(jìn)而快速增長(cháng)。根據應用材料的數據,45nm晶圓廠(chǎng)每年的數據量在50TB左右,而28nm晶圓廠(chǎng)年均數據量可以達到80TB,14nm晶圓廠(chǎng)每年的數據量則為141TB。

對于MES系統來(lái)說(shuō),一方面,晶圓廠(chǎng)投資金額巨大,12英寸晶圓廠(chǎng)所耗費的金額超過(guò)百億元,一旦停機損失巨大,需要整個(gè)系統有著(zhù)非常高的穩定性;另一方面,MES系統也要采用大數據等技術(shù)對整個(gè)產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)行優(yōu)化、分析,提升產(chǎn)線(xiàn)效率和良率。同時(shí),晶圓廠(chǎng)還有著(zhù)客戶(hù)數量多、產(chǎn)品類(lèi)型多變、需要多品種小批量定制生產(chǎn)、自動(dòng)化程度高等需求。除了技術(shù)壁壘高,一套新的MES系統想要被半導體制造廠(chǎng)商接受、信任也需要經(jīng)過(guò)長(cháng)時(shí)間的驗證。應用材料并購構建半導體MES王國IBM系統獲格芯、臺積電青睞


縱觀(guān)整個(gè)半導體MES系統發(fā)展史,Consilium、Promis、Fastech等廠(chǎng)商都曾成為過(guò)行業(yè)龍頭,但是隨著(zhù)半導體周期以及激烈的并購,應用材料和IBM兩家巨頭最終成為了當前行業(yè)中的絕對霸主。

20世紀70年代,美國MES廠(chǎng)商Consilium開(kāi)發(fā)出CAM(計算機輔助制造系統)Comet系統。該系統主要用于計算機數控機械,但是也包括工廠(chǎng)管理和制造控制,需要負責收集生產(chǎn)信息、輔助決策、傳播指令和控制信息等。這一階段的CAM軟件已經(jīng)十分接近MES的理念了。之后,Consilium開(kāi)發(fā)出第一款實(shí)際意義上的半導體MES系統Workstream。憑借低價(jià)銷(xiāo)售策略,Consilium公司在半導體MES市場(chǎng)上極為成功,在相當長(cháng)一段時(shí)間里都是全球第一大半導體MES供應商,其客戶(hù)遍布世界各地,英飛凌、英特爾等廠(chǎng)商都采用了其產(chǎn)品。但好景不長(cháng),1995年,由于半導體行業(yè)的蕭條,Consilium連續六個(gè)季度業(yè)績(jì)下滑,在1996年和1997年利潤均為虧損態(tài)勢。1998年10月,Consilium公司被應用材料以?xún)r(jià)值4200萬(wàn)美元的股****交換收購了Consilium。Consilium被應用材料收購后,其推出了下一代MES FAB300系統,該系統可以支持超過(guò)50萬(wàn)個(gè)晶圓運行,具備晶圓可追溯性、集群工具模型和工藝控制等新的技術(shù)。在Consilium發(fā)行Comet之后,加拿大MES供應商Promis也推出了自家的PROMIS MES產(chǎn)品。1996年,英國晶圓廠(chǎng)Newport Wafer Fab宣布采用PROMIS,其系統訂購價(jià)超過(guò)100萬(wàn)美元;1997年,聯(lián)電下屬的8英寸晶圓廠(chǎng)宣布和Promis達成超過(guò)150萬(wàn)美元協(xié)議。此時(shí),中國臺灣地區排名前五的晶圓代工廠(chǎng)中聯(lián)電、先進(jìn)半導體、臺積電、茂矽4家都采用了Promis的MES系統。1998年6月,當時(shí)的半導體巨頭摩托羅拉也采用Promis產(chǎn)品作為其全球晶圓廠(chǎng)及下一代12英寸晶圓廠(chǎng)整合的基礎,進(jìn)一步推動(dòng)Promis成為半導體MES領(lǐng)域的龍頭。1999年,Promis被美國自動(dòng)化系統廠(chǎng)商PRI Automaiton以4800萬(wàn)美元收購;2001年,PRI Automaiton又被Brooks Automation以70億美元的價(jià)格收購。2007年,應用材料以1.25億美元收購Brooks Automation下屬的事業(yè)部Brooks Software,該事業(yè)部也包含了此前的Promis。雖然Promis幾經(jīng)轉手,但是其MES系統至今仍是全球8英寸晶圓廠(chǎng)選用最多的MES系統。全球第三大半導體MES系統則是FASTech的FACTORYWork。FASTech成立于1986年,其代表性客戶(hù)為三星電子和英特爾。1998年,FASTech被Brooks Software收購,之后也隨之被應用材料收購。至此,應用材料已經(jīng)構建起一個(gè)覆蓋PROMIS、FACTORYWORKS、FAB300、300WORKS等主流MES系統的產(chǎn)品線(xiàn)。而除了各大主流MES系統外,作為全球半導體設備龍頭,應用材料MES系統和自家設備的強大生態(tài)也是其產(chǎn)品競爭力的一部分。

相比于應用材料的并購擴張,IBM的MES系統則借助了自家晶圓廠(chǎng)和軟件研發(fā)上的實(shí)力。1995年,IBM推出了POSEIDEN系統,1999年又基于POSEIDEN系統發(fā)布了SiView系統。IBM宣稱(chēng),SiView系統可實(shí)現全自動(dòng)化的單晶圓控制,并處理在同一產(chǎn)線(xiàn)中多批次的產(chǎn)品。此外,SiView系統可以在不影響晶圓廠(chǎng)生產(chǎn)的情況下進(jìn)行安裝,并能夠在安裝后立即開(kāi)始運行。SiView系統發(fā)布后,IBM將其用于自己的12英寸產(chǎn)線(xiàn),之后,SiView系統又被格芯、臺積電等廠(chǎng)商所采用。半導體MES兩大巨頭鼎立的局勢基本形成。
國產(chǎn)替代推動(dòng)中國半導體MES廠(chǎng)商發(fā)展


與半導體設備產(chǎn)業(yè)一樣,半導體MES系統也存在著(zhù)技術(shù)壁壘高、驗證時(shí)間長(cháng)等特性,使其被應用材料和IBM兩大巨頭所主導。但是和半導體設備只影響一個(gè)工序不同,同樣價(jià)值數千萬(wàn)元的MES系統影響的卻是價(jià)值數十億乃至百億晶圓廠(chǎng)的全產(chǎn)線(xiàn)。這也造成了半導體MES行業(yè)市場(chǎng)份額極為集中,且行業(yè)壁壘極高,新玩家很難進(jìn)入這一市場(chǎng)。隨著(zhù)晶圓尺寸從4英寸變?yōu)?英寸、8英寸、12英寸,芯片性能和制造要求在不斷提升,晶圓廠(chǎng)的自動(dòng)化水平也在不斷提升,從人工產(chǎn)線(xiàn)變?yōu)榘胱詣?dòng)產(chǎn)線(xiàn)、自動(dòng)產(chǎn)線(xiàn),MES系統對晶圓廠(chǎng)生產(chǎn)越來(lái)越重要。國產(chǎn)MES系統的成長(cháng)對中國半導體行業(yè)有著(zhù)切實(shí)地意義。上揚軟件是成立時(shí)間最久的一家國產(chǎn)半導體MES廠(chǎng)商。2000年,曾在新加坡國立制造技術(shù)研究院研究MES系統的呂凌志回國創(chuàng )立上揚軟件。在他創(chuàng )業(yè)的前十五六年里,上揚軟件做得都是4、5、6英寸晶圓廠(chǎng)的MES系統。因為不去做4、5、6英寸晶圓廠(chǎng),就無(wú)法獲得8英寸晶圓廠(chǎng)的信任;沒(méi)有拿下8英寸晶圓廠(chǎng),更談不上12英寸。

盡管上揚軟件已經(jīng)拿下了中芯紹興的8英寸產(chǎn)線(xiàn)合同,并且其產(chǎn)量在1年內達到5萬(wàn)片/月,是國內沖量產(chǎn)最快的8英寸產(chǎn)線(xiàn)。但在2019-2020年,上揚軟件連續三次在國內12英寸產(chǎn)線(xiàn)評估中失敗。雖然失望,但呂凌志也清楚這就是行業(yè)的現實(shí):“投資百億的晶圓廠(chǎng),如果你為幾千萬(wàn)的軟件冒險,那是想都不敢想象的?!?/span>

由于國產(chǎn)替代浪潮,國產(chǎn)半導體MES玩家也迎來(lái)了新的發(fā)展。今年5月,上揚軟件獲得了華為哈勃的戰略投資。10月份,上揚軟件又完成了由大基金二期領(lǐng)投,中芯聚源、浦東科投等跟投的新一輪數億元融資。在資金支持下,上揚軟件拿下了國內CMOS晶圓代工廠(chǎng)商長(cháng)光圓辰和存儲廠(chǎng)商杭州馳拓的12英寸產(chǎn)線(xiàn)。除了上揚軟件,賽美特、芯享科技、哥瑞利等半導體MES/CIM領(lǐng)域的國產(chǎn)廠(chǎng)商憑借其專(zhuān)業(yè)人才、技術(shù)實(shí)力也在今年完成了新一輪融資。芯享科技成立于2018年,其首席戰略發(fā)展官邱崧恒曾主導長(cháng)江存儲和泉芯的CIM系統整合;晶圓事業(yè)部技術(shù)專(zhuān)家張鎮浩則參與過(guò)韓國三星電子、SK海力士自動(dòng)化體系研發(fā)。據報道,在封測領(lǐng)域的TOP10中,芯享科技的客戶(hù)占比近1/3,其還擁有9家晶圓廠(chǎng)商客戶(hù)。今年3月,芯享科技獲得紅杉中國、高瓴資本、華登國際聯(lián)合領(lǐng)投的近億元A輪融資。賽美特于2020年成立,合并了“上海特勱絲”和“固耀SEMI Integration”兩家公司,其產(chǎn)品已用于50余座工廠(chǎng)。賽美特總經(jīng)理閔東植曾任三星SDS常務(wù)理事及SK海力士半導體CIM研發(fā)負責人。今年5月,賽美特宣布完成5000萬(wàn)元A輪融資。哥瑞利軟件成立于2007年,其專(zhuān)注于半導體領(lǐng)域的智能制造解決方案,研發(fā)服務(wù)團隊超過(guò)300人,擁有21項專(zhuān)利和111項軟件著(zhù)作權(含申請中)。在半導體前道領(lǐng)域,其客戶(hù)有中芯國際等。根據企查查信息,哥瑞利于11月12日獲得由招商資本、國新風(fēng)投深圳領(lǐng)投的3億元新一輪融資。在大基金、中芯聚源、華登國際、高瓴資本等各類(lèi)資金的支持下,上揚軟件等老牌玩家獲得了更大的支持,芯享科技等新興玩家也開(kāi)始浮現,國產(chǎn)半導體MES行業(yè)發(fā)展正步入快車(chē)道。
結語(yǔ):工業(yè)4.0時(shí)代來(lái)臨MES系統為IC制造關(guān)鍵


工業(yè)化4.0時(shí)代的到來(lái),無(wú)疑也加速了半導體晶圓廠(chǎng)的自動(dòng)化、無(wú)人化進(jìn)程。在這一趨勢下,晶圓廠(chǎng)產(chǎn)線(xiàn)需要支持更多的數據接口,云計算、大數據、人工智能、機器人、物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)將成為重要的組成部分。對晶圓廠(chǎng)商來(lái)說(shuō),如何順應這一趨勢,整合各類(lèi)技術(shù)、優(yōu)化晶圓廠(chǎng)良率、合理分配產(chǎn)線(xiàn),都離不開(kāi)先進(jìn)的MES系統。各類(lèi)資本的涌入無(wú)疑會(huì )加快行業(yè)的發(fā)展速度,起到推動(dòng)作用。但從半導體MES行業(yè)的發(fā)展歷史來(lái)看,MES系統廠(chǎng)商的整合、并購十分劇烈,廠(chǎng)商發(fā)展也受半導體周期影響較大。如何抓住當前行業(yè)快速發(fā)展的窗口,在行業(yè)增速放緩時(shí),做好研發(fā)投入和營(yíng)收的平衡,將會(huì )是國產(chǎn)半導體MES廠(chǎng)商需要面對的挑戰。參考信源:《半導體行業(yè)MES的研究與應用》何月華、《集成CAM和過(guò)程仿真,增強集成電路制造的分析和控制(Integrating CAM and Process Simulation to Enhance the Analysis and Control of IC Fabrication)》Angus Joseph MacDonald、《晶圓廠(chǎng)MES發(fā)展歷程和實(shí)踐感悟》呂凌志演講、應用材料/IBM官網(wǎng)博客、企查查/36氪等融資信息


*博客內容為網(wǎng)友個(gè)人發(fā)布,僅代表博主個(gè)人觀(guān)點(diǎn),如有侵權請聯(lián)系工作人員刪除。



關(guān)鍵詞: mes

相關(guān)推薦

技術(shù)專(zhuān)區

關(guān)閉
国产精品自在自线亚洲|国产精品无圣光一区二区|国产日产欧洲无码视频|久久久一本精品99久久K精品66|欧美人与动牲交片免费播放
<dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn><dfn id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></dfn><dfn id="yhprb"></dfn><dfn id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></dfn><dfn id="yhprb"></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"><strike id="yhprb"></strike></s></dfn><small id="yhprb"></small><dfn id="yhprb"></dfn><small id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></small><small id="yhprb"></small><small id="yhprb"></small> <delect id="yhprb"><strike id="yhprb"></strike></delect><dfn id="yhprb"></dfn><dfn id="yhprb"></dfn><s id="yhprb"><noframes id="yhprb"><small id="yhprb"><dfn id="yhprb"></dfn></small><dfn id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></dfn><small id="yhprb"></small><dfn id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn> <small id="yhprb"></small><delect id="yhprb"><strike id="yhprb"></strike></delect><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn><dfn id="yhprb"></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"><strike id="yhprb"></strike></s></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn>