關(guān)注 | 重大進(jìn)展！精測電子向中芯國際出售兩臺半導體設備
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同日，武漢精測電子集團股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“精測電子”）在其公布的最新投資者關(guān)系活動(dòng)記錄表中透露，公司子公司上海精測本次出機的兩款產(chǎn)品的客戶(hù)為中芯國際。
國內首臺12寸獨立式光學(xué)線(xiàn)寬測量機臺（OCD）
據悉，OCD設備（產(chǎn)品型號為EPROFILE 300FD）是該類(lèi)型的國內首臺機臺，主要用于45nm以下、特別是28nm平面CMOS工藝的量測，并可以延伸支持上述先進(jìn)工藝節點(diǎn)的快速線(xiàn)寬測量。EPROFILE 300FD測量系統擁有完全自主知識產(chǎn)權，包括寬譜全穆勒橢偏測頭、對焦對位系統、系統軟件等核心零部件均為自主研發(fā)，是真正意義上的高端國產(chǎn)化機臺。
精測電子介紹稱(chēng)，OCD設備除具有全自動(dòng)光學(xué)膜厚測量能力外，還可以進(jìn)行顯影后檢查（ADI）、刻蝕后檢查（AEI）等多種工藝段的二維或三維樣品的線(xiàn)寬、側壁角度（SWA）、高度/深度等關(guān)鍵尺寸（CD）特征或整體形貌測量，具有高速、準確和非破壞性等特點(diǎn)，是半導體前道檢測的關(guān)鍵設備之一。
國內唯一12寸全自動(dòng)電子束晶圓缺陷復查設備（Review SEM）
Review SEM設備是上海精測半導體的另一項主力產(chǎn)品，是先進(jìn)的全自動(dòng)晶圓在線(xiàn)電子束缺陷復查和分類(lèi)設備，對光學(xué)缺陷檢測設備的結果進(jìn)行高分辨率復查、分析和分類(lèi)。
此次出廠(chǎng)的機臺配備了基于深度學(xué)習的高準確率智能化自動(dòng)缺陷檢測與分類(lèi)算法，將進(jìn)一步幫助客戶(hù)提升缺陷復查分析的效率并顯著(zhù)提升設備使用的便捷性。
資料顯示，精測電子主要從事顯示、半導體、新能源檢測系統的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售。公司目前在顯示領(lǐng)域的主營(yíng)產(chǎn)品包括信號檢測系統、OLED調測系統、AOI光學(xué)檢測系統和平板顯示自動(dòng)化設備等；在半導體領(lǐng)域的主營(yíng)產(chǎn)品包括存儲芯片測試設備、驅動(dòng)芯片測試設備以及膜厚量測類(lèi)設備等；在新能源領(lǐng)域的主營(yíng)產(chǎn)品包括鋰電池和燃料電池檢測設備等。作為精測電子的子公司，上海精測主要聚焦半導體前道檢測設備領(lǐng)域，致力于半導體前道量測檢測設備的研發(fā)及生產(chǎn)，現已形成了膜厚/OCD量測設備、電子束量測設備、泛半導體設備三大產(chǎn)品系列。
上海精測膜厚產(chǎn)品（含獨立式膜厚設備）已取得國內一線(xiàn)客戶(hù)的批量重復訂單、OCD量測設備已取得訂單并已實(shí)現交付，半導體電子束檢測設備eViewTM全自動(dòng)晶圓缺陷復查設備已正式交付國內客戶(hù)。其余儲備的產(chǎn)品目前正處于研發(fā)、認證以及拓展的過(guò)程中。
來(lái)源：上海精測半導體
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