膜片 文章 進(jìn)入膜片技術(shù)社區

微壓傳感器具體應用說(shuō)明

• 　　微壓傳感器在測量過(guò)程，即壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，同時(shí)通過(guò)電子線(xiàn)路檢測這一變化，并轉換輸出一個(gè)對應于這個(gè)壓力的標準信號得過(guò)程。 　　對于微壓傳感器來(lái)說(shuō)，靈敏度和線(xiàn)性度是微壓力傳感器最重要的兩個(gè)性能指標。為了制作出能夠滿(mǎn)足實(shí)際應用需求的傳感器，必需探索出一種微壓力傳感器靈敏度和線(xiàn)性度的有效仿真方法。實(shí)際的研究中，發(fā)現一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜表面應力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過(guò)這一方法實(shí)現了在滿(mǎn)量程范圍內不同壓力值
• 關(guān)鍵字： 微壓傳感器  膜片