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力敏器件
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汽車(chē)MEMS傳感器應用及發(fā)展
- 本文通過(guò)大量的文獻資料,評述汽車(chē)MEMS(微機電系統)傳感器的應用現狀及發(fā)展趨勢,其中重點(diǎn)介紹幾種傳感器的原理和結構,同時(shí)對該領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化也進(jìn)行了探討。
- 關(guān)鍵字: 汽車(chē)傳感器 微機電系統 力敏器件
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力敏器件介紹
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