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上海微電子采購Bumotec機床 加速中國光刻機研發(fā)
- 去年，一臺價(jià)值1.06億元設備經(jīng)空運從荷蘭飛抵廈門(mén)，由于該設備價(jià)值高，而且對保存和運輸有著(zhù)很高的要求——保存溫度必須保持在23攝氏度恒溫狀態(tài)下，為了避免影響設備的精度，在運輸中也對穩定性有極高的要求。因此，機場(chǎng)海關(guān)以機坪查驗的方式對該貨物實(shí)行全程機邊監管，待貨物裝入特制溫控氣墊車(chē)后移至海關(guān)的機坪視頻監控探頭之下，在完成緊急查驗后當晚就放行。 沒(méi)錯，這臺設備就是荷蘭ASML的光刻機。鐵流猜測，這臺設備很有可能是廈門(mén)當地政府與臺灣聯(lián)華電子合資的晶圓廠(chǎng)從荷蘭ASML采購的。
- 關(guān)鍵字： Bumotec 光刻機
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