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4200a
4200a 文章 進(jìn)入4200a技術(shù)社區
用4200A和矩陣開(kāi)關(guān)搭建自動(dòng)智能的可靠性評估平臺
- _____在現代ULSI電路中溝道熱載流子(CHC)誘導的退化是一個(gè)重要的與可靠性相關(guān)的問(wèn)題。載流子在通過(guò)MOSFET通道的大電場(chǎng)加速時(shí)獲得動(dòng)能。當大多數載流子到達漏極時(shí),熱載流子(動(dòng)能非常高的載流子)由于原子能級碰撞的沖擊電離,可以在漏極附近產(chǎn)生電子—空穴對。其他的可以注入柵極通道界面,打破Si-H鍵,增加界面態(tài)密度。CHC的影響是器件參數的時(shí)間相關(guān)的退化,如VT、IDLIN和IDSAT。這種通道熱載流子誘導的退化(也稱(chēng)為HCI或熱載流子注入)在NMOS和PMOS器件上都可以看到,并會(huì )影響所有區域的器件
- 關(guān)鍵字: 4200A 矩陣開(kāi)關(guān) 可靠性評估平臺 Clarius軟件 泰克
如何用4200A-SCS進(jìn)行晶圓級可靠性測試?
- 每個(gè)芯片上更多器件和更快時(shí)鐘速度的不斷發(fā)展,推動(dòng)了幾何形狀縮小、新材料和新技術(shù)的發(fā)展。由于更脆弱、功率密度更高、器件更復雜和新的失效機制,所有這些因素都對單個(gè)器件的壽命和可靠性產(chǎn)生了巨大的影響,曾經(jīng)壽命為100年的器件的生產(chǎn)工藝現在可能只有10年的壽命,這與使用這些器件的預期工作壽命非常接近。較小的誤差范圍意味著(zhù),必須從一開(kāi)始就考慮器件的壽命和可靠性,從設備開(kāi)發(fā)到工藝集成再到生產(chǎn)不斷進(jìn)行監控,即使是很小的壽命變化,對今天的設備來(lái)說(shuō)也可能是災難性的。每個(gè)芯片上更多器件和更快時(shí)鐘速度的不斷發(fā)展,推動(dòng)了幾何形狀
- 關(guān)鍵字: 泰克科技 4200A-SCS
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