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高數值孔徑
高數值孔徑 文章 進(jìn)入高數值孔徑技術(shù)社區
臺積電重申1.4nm級工藝技術(shù)不需要高數值孔徑EUV
- 臺積電在阿姆斯特丹舉行的歐洲技術(shù)研討會(huì )上重申了其對下一代高數值孔徑 EUV 光刻工具的長(cháng)期立場(chǎng)。該公司的下一代工藝技術(shù)不需要這些最高端的光刻系統，包括 A16（1.6 納米級）和 A14（1.4 納米級）工藝技術(shù)。為此，TSMC 不會(huì )為這些節點(diǎn)采用 High-NA EUV 工具?！爱斉_積電使用 High-NA 時(shí)，人們似乎總是很感興趣，我認為我們的答案非常簡(jiǎn)單，”副聯(lián)席首席運營(yíng)官兼業(yè)務(wù)發(fā)展和全球銷(xiāo)售高級副總裁 Kevin Zhang 在活動(dòng)中說(shuō)?！懊慨斘覀兛吹?High-NA 將提供有意義、可衡
- 關(guān)鍵字： 臺積電 1.4nm 高數值孔徑 EUV
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高數值孔徑介紹
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