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虛擬傳感器
虛擬傳感器 文章 進(jìn)入虛擬傳感器技術(shù)社區
虛擬傳感器的創(chuàng )新助力提升生產(chǎn)力
- 摘要：使用泛林集團Equipment Intelligence?應對腔室匹配挑戰 制造芯片需要很多不同類(lèi)型的工藝設備，包括沉積、光刻、刻蝕和清潔等設備。大規模生產(chǎn)要求芯片制造商使用大量相同腔室的設備組來(lái)執行特定的工藝步驟，例如用于制造3D晶體管的鰭片刻蝕。理想情況下，設備組中的每個(gè)晶圓批次都會(huì )得到相同的處理，這意味著(zhù)每個(gè)晶圓腔室的運行過(guò)程將與其他所有晶圓腔室完全相同。不過(guò)在實(shí)際操作中，腔室的性能會(huì )因許多控制參數的極微小差異而有所不同，進(jìn)而影響到工藝流程是否成功。這些參數包括壓力、溫度、電力輸送和
- 關(guān)鍵字： 虛擬傳感器 泛林
虛擬傳感器在車(chē)輛輪胎壓力測試中的研究
- 1前言現代車(chē)輛電子信息技術(shù)的三大基礎包括：信息采集（傳感器技術(shù)）、信息傳輸（通信技術(shù)）和信息處理（計算機技術(shù)），傳...
- 關(guān)鍵字： 虛擬傳感器 車(chē)輛輪胎壓力 速度信號
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虛擬傳感器介紹
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