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等離子體強化化學(xué)氣相沉積系統
等離子體強化化學(xué)氣相沉積系統 文章 進(jìn)入等離子體強化化學(xué)氣相沉積系統技術(shù)社區
應用材料公司推出等離子體強化化學(xué)氣相沉積系統
- 近日，應用材料公司宣布推出Applied Producer® Celera™ PECVD(等離子體強化化學(xué)氣相沉積) 系統，它能實(shí)現在45納米及更小技術(shù)節點(diǎn)的器件上生產(chǎn)速度更快的晶體管所需要達到的應力水平，是應力工程技術(shù)(Strained engineering technology) 的一個(gè)巨大進(jìn)步。該系統結合應用材料的Nanocure™ UV（紫外線(xiàn)）處理技術(shù)以及改進(jìn)型氮化物沉積反應腔，把薄膜張力提高了超過(guò)30%，達到了業(yè)界領(lǐng)先的1.7GPa等級，并可擴展至超過(guò)2.
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等離子體強化化學(xué)氣相沉積系統介紹
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歡迎您創(chuàng )建該詞條，闡述對等離子體強化化學(xué)氣相沉積系統的理解，并與今后在此搜索等離子體強化化學(xué)氣相沉積系統的朋友們分享。 創(chuàng )建詞條
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