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離子注入技術(shù)
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離子注入技術(shù)概述及應用實(shí)例
- 簡(jiǎn)述了離子注入技術(shù)的發(fā)展趨勢及典型應用，并簡(jiǎn)要分析了該領(lǐng)域的技術(shù)發(fā)展方向。關(guān)鍵詞：離子注入； 發(fā)展趨勢； 典型應用
Development and Application of Ionimplantation Technology CHEN Jiang-hong,CHEN Yang,LI - 關(guān)鍵字： 離子注入技術(shù) 應用實(shí)例
什么是離子注入技術(shù)
- 離子注入技術(shù)介紹：把摻雜劑的原子引入固體中的一種材料改性方法。簡(jiǎn)單地說(shuō)，離子注入的過(guò)程，就是在真空系統中，用經(jīng)過(guò)加速的，要摻雜的原子的離子照射（注入）固體材料，從而在所選擇的（即被注入的）區域形成一個(gè)
- 關(guān)鍵字： 離子注入技術(shù)
離子注入技術(shù)的發(fā)展趨勢及典型應用
- 簡(jiǎn)述了離子注入技術(shù)的發(fā)展趨勢及典型應用，并簡(jiǎn)要分析了該領(lǐng)域的技術(shù)發(fā)展方向。關(guān)鍵詞：離子注入； 發(fā)展趨勢； 典型應用
Development and Application of Ionimplantation Technology CHEN Jiang-hong,CHEN Yang,LI - 關(guān)鍵字： 離子注入技術(shù) 發(fā)展趨勢 典型
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離子注入技術(shù)介紹
離子注入技術(shù)是把某種元素的原子電離成離子，并使其在幾十至幾百千伏的電壓下進(jìn)行加速，在獲得較高速度后射入放在真空靶室中的工件材料表面的一種離子束技術(shù)。材料經(jīng)離子注入后，其表面的物理、化學(xué)及機械性能會(huì )發(fā)生顯著(zhù)的變化,金屬表層所產(chǎn)生的持續耐磨損能力可以達到初始注入深度的2～3個(gè)數量級?！? 離子注入是將離子源產(chǎn)生的離子經(jīng)加速后高速射向材料表面，當離子進(jìn)入表面，將與固體中的原子碰撞，將其擠進(jìn)內部，并在 [ 查看詳細 ]
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