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硅烷
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中國芯片原材料重大突破：高純度硅烷實(shí)現量產(chǎn)
- 12月21日，《中國科學(xué)報》報道，上海交通大學(xué)教授肖文德領(lǐng)銜研發(fā)的具有自主知識產(chǎn)權的硅烷大規模生產(chǎn)新技術(shù)600噸/年中試生產(chǎn)項目，在河南平煤神馬集團試車(chē)成功，并已連續穩定生產(chǎn)出純度大于99.9999%的高品質(zhì)硅烷產(chǎn)品。該項目的成功標志著(zhù)高純度硅烷大規模生產(chǎn)技術(shù)獲得突破。 據了解，我國電子和大規模集成電路行業(yè)的芯片進(jìn)口總額去年高達2300億美元。其中，一個(gè)重要原因是缺乏高純度晶體硅材料，而生產(chǎn)高純晶體硅必須以高純硅烷為基礎。我國電子工業(yè)幾十年來(lái)一直在尋找高純硅烷大規模生產(chǎn)的方法，希望掃清中國信息產(chǎn)
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