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硅化物
硅化物 文章 進(jìn)入硅化物技術(shù)社區
FSI國際宣布在硅化物形成步驟中的金屬剝離技術(shù)取得突破
- FSI 國際有限公司宣布已成功地采用FSI ViPR™技術(shù)在自對準多晶硅化物形成后去除了未反應的金屬薄膜。通過(guò)實(shí)現這一新的工藝，IC制造商可以在鈷、鎳和鎳鉑硅化物集成過(guò)程中，大幅度減少化學(xué)品的使用和降低對資金的要求。新訂購的FSI ZETA® Spray Cleaning System噴霧式清洗系統中已經(jīng)采用了FSI ViPR™技術(shù)，并將用于升級最近已經(jīng)在生產(chǎn)現場(chǎng)安裝的系統。 鎳鉑硅化物最早應用于65nm邏輯器件，因為它的阻抗更低，從而可實(shí)現器件性能的大幅改善。但
- 關(guān)鍵字： FSI 硅化物 邏輯器件 嵌入式
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硅化物介紹
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