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磁控濺射法沉積TCO薄膜的電源技術(shù)

  • 1前言透明導電氧化物薄膜(TCO薄膜)有著(zhù)廣泛的用途，如作為L(cháng)CD、OLED顯示器面板的電極，作為觸摸屏的感應電極，作為薄膜太陽(yáng)能電池的電極以及作為L(cháng)ED芯片前電極等[1]。目前，主要的TCO薄膜有氧化銦錫(ITO)、氧化錫(Sn
  • 關(guān)鍵字： 電源技術(shù)  薄膜  TCO  沉積  磁控  

波導SOl化學(xué)氣相沉積工藝特點(diǎn)

  • 對于SOl波導來(lái)說(shuō)，CVD技術(shù)一般用來(lái)淀積其上包層，通常為二氧化硅或氮化硅。對于調制器等有源器件來(lái)說(shuō)，這一層還起著(zhù)隔離金屬電極減小電極對波導造成損耗的作用，所以厚度一定要選擇合適，不能太薄，如果薄了就不能起
  • 關(guān)鍵字： 工藝  特點(diǎn)  沉積  氣相  SOl  化學(xué)  波導  
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沉積介紹

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