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晶圓邊緣沉積
晶圓邊緣沉積 文章 進(jìn)入晶圓邊緣沉積技術(shù)社區
泛林集團推出全球首個(gè)晶圓邊緣沉積解決方案以提高芯片良率

- 近日,泛林集團 (Nasdaq: LRCX) 推出了Coronus DX產(chǎn)品,這是業(yè)界首個(gè)晶圓邊緣沉積解決方案,旨在更好地應對下一代邏輯、3D NAND和先進(jìn)封裝應用中的關(guān)鍵制造挑戰。隨著(zhù)半導體芯片關(guān)鍵尺寸的不斷縮小,其制造變得越來(lái)越復雜,在硅晶圓上構建納米級器件需要數百個(gè)工藝步驟。僅需一個(gè)工藝步驟,Coronus DX 可在晶圓邊緣的兩側沉積一層專(zhuān)有的保護膜,有助于防止在先進(jìn)半導體制造過(guò)程中經(jīng)常發(fā)生的缺陷和損壞。這一強大的保護技術(shù)提高了良率,并使芯片制造商能夠實(shí)施新的前沿工藝來(lái)生產(chǎn)下一代芯片。Coron
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晶圓邊緣沉積介紹
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