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晶體掩膜質(zhì)量控制檢
晶體掩膜質(zhì)量控制檢 文章 進(jìn)入晶體掩膜質(zhì)量控制檢技術(shù)社區
晶體和掩膜質(zhì)量控制檢測
- 在半導體制造過(guò)程中,合格率影響成本,因此制造商從晶圓到包裝IC多步驟進(jìn)行產(chǎn)品檢測,以盡早發(fā)現缺陷。隨著(zhù)光刻技術(shù)幾何尺寸越來(lái)越小,要求檢測系統能夠檢測深度不斷增加的深亞微米尺度(如,45nm、32nm、22nm......)。極端...
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晶體掩膜質(zhì)量控制檢介紹
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