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微壓傳感器
微壓傳感器 文章 進(jìn)入微壓傳感器技術(shù)社區
微壓傳感器具體應用說(shuō)明
- 微壓傳感器在測量過(guò)程，即壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，同時(shí)通過(guò)電子線(xiàn)路檢測這一變化，并轉換輸出一個(gè)對應于這個(gè)壓力的標準信號得過(guò)程。 對于微壓傳感器來(lái)說(shuō)，靈敏度和線(xiàn)性度是微壓力傳感器最重要的兩個(gè)性能指標。為了制作出能夠滿(mǎn)足實(shí)際應用需求的傳感器，必需探索出一種微壓力傳感器靈敏度和線(xiàn)性度的有效仿真方法。實(shí)際的研究中，發(fā)現一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜表面應力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過(guò)這一方法實(shí)現了在滿(mǎn)量程范圍內不同壓力值
- 關(guān)鍵字： 微壓傳感器 膜片
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微壓傳感器介紹
微壓傳感器，亦稱(chēng)微壓壓力傳感器，是一種用于測量微小壓力的傳感器，適用于介質(zhì)壓力微弱的場(chǎng)合的測量與控制。微壓傳感器的壓力形式有表壓、絕壓、負壓和差壓，是工業(yè)實(shí)踐中最為常用的一種壓力傳感器?！ ∥簜鞲衅?，其工作原理是被測介質(zhì)的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線(xiàn)路檢測這一變化，并轉換輸出一個(gè)對應于這個(gè)壓力的標準信號?！ ?.量 程: [ 查看詳細 ]
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