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微光機電
微光機電 文章 進(jìn)入微光機電技術(shù)社區
柔性膜式微型電磁驅動(dòng)器的設計與仿真分析
- 0引言 微驅動(dòng)器作為微機電系統(MEMS)的驅動(dòng)部件，已得到廣泛研究。近年來(lái)，采用硬磁和軟磁材料構成的驅動(dòng)器在微機電系統和微光機電系統中受到了越來(lái)越多的關(guān)注，這主要由于電磁驅動(dòng)方式能夠在較大的范圍內提供足夠的驅動(dòng)力，并且能夠進(jìn)行遠程驅動(dòng)控制，響應速度快。尤其是硬磁材料在被充磁后可以用于制作雙向驅動(dòng)器，采用一個(gè)永磁體和電磁線(xiàn)圈構成的電磁鐵即可構成雙向的微型電磁驅動(dòng)器，這可簡(jiǎn)化微驅動(dòng)器的結構，充分利用微驅動(dòng)器中的有限空間。通過(guò)改變電磁線(xiàn)圈驅動(dòng)電流方向在兩個(gè)磁體之間產(chǎn)生的吸引力和排斥力，可作為雙向微驅
- 關(guān)鍵字： MEMS 微驅動(dòng)器 微機電 微光機電
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微光機電介紹
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