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衛光科技六吋線(xiàn)二期高端功率器件項目首臺重點(diǎn)工藝設備移入

  • 近日，衛光科技六吋線(xiàn)二期高端功率器件項目首臺重點(diǎn)工藝設備超薄晶圓減薄機DFG8540移入微晶微電子公司生產(chǎn)線(xiàn)。該設備是為滿(mǎn)足高端FS型IGBT器件超薄晶圓減薄工藝所需，主要用于6英寸硅片的圓片減薄工藝，可將硅片減薄至85um，同時(shí)可保證硅片的平整度。設備的引入將在推進(jìn)微晶微新產(chǎn)品工藝研發(fā)、新品研制等方面發(fā)揮引領(lǐng)作用。
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聯(lián)景光電向RENA訂購2690萬(wàn)美元設備

  • 　　聯(lián)華電子(UMC)旗下的子公司聯(lián)景光電(Topcell Solar International)近日向濕法化學(xué)工藝設備供應商RENA訂購了價(jià)值約為2690萬(wàn)美元的設備。聯(lián)電的財報中并沒(méi)有披露此次訂購設備的具體型號。 　　
  • 關(guān)鍵字： 聯(lián)景光電  工藝設備  
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工藝設備介紹

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