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太紫微光電
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國產(chǎn)光刻膠通過(guò)量產(chǎn)驗證
- 據中國光谷官微消息，近日，武漢太紫微光電科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“太紫微公司”）推出的T150 A光刻膠產(chǎn)品，已通過(guò)半導體工藝量產(chǎn)驗證，實(shí)現配方全自主設計，有望開(kāi)創(chuàng )國內半導體光刻制造新局面。據悉，該產(chǎn)品對標國際頭部企業(yè)主流KrF光刻膠系列。相較于被業(yè)內稱(chēng)之為“妖膠”的國外同系列產(chǎn)品UV1610，T150 A在光刻工藝中表現出的極限分辨率達到120nm，且工藝寬容度更大，穩定性更高，堅膜后烘留膜率優(yōu)秀，其對后道刻蝕工藝表現更為友好，通過(guò)驗證發(fā)現T150 A中密集圖形經(jīng)過(guò)刻蝕，下層介質(zhì)的側壁垂直度表現優(yōu)異。據了
- 關(guān)鍵字： 太紫微光電 光刻膠 光刻技術(shù)
國產(chǎn)光刻膠通過(guò)量產(chǎn)驗證，武漢太紫微公司 T150 A 分辨率達 120nm
- 10 月 15 日消息，據武漢東湖新技術(shù)開(kāi)發(fā)區管理委員會(huì )（中國光谷）今日消息，光谷企業(yè)在半導體專(zhuān)用光刻膠領(lǐng)域實(shí)現重大突破：武漢太紫微光電科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“太紫微公司”）推出的 T150 A 光刻膠產(chǎn)品，已通過(guò)半導體工藝量產(chǎn)驗證，實(shí)現配方全自主設計，有望開(kāi)創(chuàng )國內半導體光刻制造新局面。中國光谷官方介紹稱(chēng)：“該產(chǎn)品對標國際頭部企業(yè)主流 KrF 光刻膠系列。相較于被業(yè)內稱(chēng)之為‘妖膠’的國外同系列產(chǎn)品 UV1610，T150 A 在光刻工藝中表現出的極限分辨率達到 120nm，且工藝寬容度更大，穩定性更高，堅
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太紫微光電介紹
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