美國材料信息學(xué)會(huì )和日立國際電氣簽署原子層沉積技術(shù)授權協(xié)議

　　美國材料信息學(xué)會(huì )(ASM International)與日立國際電氣(Hitachi Kokusai Electric Inc.，東京證券交易所(一部)和大阪證券交易所(一部))宣布，雙方已簽署一項授權協(xié)議。根據此項協(xié)議，美國材料信息學(xué)會(huì )將把原子層沉積技術(shù)專(zhuān)利在批次式原子層沉積領(lǐng)域的使用權授予日立國際電氣。協(xié)議的詳細條款未對外披露。

　　多年來(lái)，美國材料信息學(xué)會(huì )一直是原子層沉積領(lǐng)域的先驅?zhuān)瑩碛写罅繉?zhuān)利，包括原子層沉積專(zhuān)利以及在豎爐中成批實(shí)施原子層沉積的技術(shù)專(zhuān)利。這一技術(shù)使得在豎爐中實(shí)施原子層沉積并同時(shí)處理多個(gè)晶片成為可能，也為原子層沉積技術(shù)的各類(lèi)應用帶來(lái)了擁有成本的益處。

　　美國材料信息學(xué)會(huì )總經(jīng)理Albert Hasper博士表示：“美國材料信息學(xué)會(huì )的創(chuàng )新能力舉世聞名，尤其是在原子層沉積領(lǐng)域。多年來(lái)，公司政策始終注重對創(chuàng )新及其保護的投入。很高興日立國際電氣對這一IP組合的價(jià)值表示認可，我們已通過(guò)專(zhuān)業(yè)而商業(yè)化的方式達成了一項協(xié)議，符合雙方的共同利益。隨著(zhù)市場(chǎng)對廉價(jià)原子層沉積產(chǎn)能的需求與日俱增，我們相信，轉讓這一技術(shù)，并允許其他供應商與我們一道滿(mǎn)足這一需求，對半導體行業(yè)而言是極為有利的?！?/P>

　　日立國際電氣總經(jīng)理Shoichiro Izumi先生表示：“很早以前，我們便已開(kāi)始投身批次式原子層沉積技術(shù)的開(kāi)發(fā)，并致力于為顧客提供優(yōu)質(zhì)的半導體設備。我們相信，此項協(xié)議將推動(dòng)原子層沉積技術(shù)的發(fā)展，我們也將進(jìn)一步為顧客創(chuàng )造福利?！?/P>