基于高溫的微型壓力傳感器設計方案

1可見(jiàn)，擬合的電容誤差小于1%.由此可見(jiàn)，在不同的時(shí)刻測得UO（t），通過(guò)曲線(xiàn)擬合得出參數RC.再給電路加小信號直流電源，測出R值，即求得C，通過(guò)C值則可知被測環(huán)境的壓力。圖5為350℃時(shí)，不同的壓力所對應的電容的理論值和實(shí)驗值，從實(shí)驗數據（表2）可得，在測壓的過(guò)程中，利用模型識別的方法，誤差較小，其測壓誤差小于2%.

3結束語(yǔ)

基于模型識別技術(shù)的高溫微型壓力傳感器電路簡(jiǎn)單、工藝成本較低、體積小、可批量生產(chǎn)、準確度高。該傳感器避免了電阻式高溫壓力傳感器的自補償電路在高溫環(huán)境下工作時(shí)熱靈敏度漂移引起的誤差，也避免了其它電容式高溫壓力傳感器非線(xiàn)性補償電路在高溫環(huán)境下工作。該傳感器適合在各種高溫環(huán)境下測量氣體或液體的壓力。