雙頻激光測量系統及其在lC加工設備中的應用

　　前言

　　IC加工設備例如電子束曝光機、圖形發(fā)生器以及投影光刻機中的精密定位x一y工件臺系統，實(shí)際上是帶有座標測量的雙向定位工件臺系統，工件臺系統的定位精度直接影響圖形加工精度。眾所周知，工件臺系統精度是機械結構精度和測量系統精度的綜合，精密定位工件臺的座標測量方法普遍采用激光干涉儀法。因此在設計合理的工件臺機械結構的同時(shí)，必須合理選擇高精度、高速度和高可靠性的測量系統。美國HP公司生產(chǎn)的5501型雙領(lǐng)激光側量系統普遍地應用于IC加工設備中。表1列出幾種電子柬曝光機、投影光刻機以及圖形發(fā)生器中采用雙頻激光測量精密定位工件臺的技術(shù)指標。

　　雙頻激光測量系統的特點(diǎn)

　　以往采用的單頻激光測量系統是一個(gè)直流測量系統，接收器接收到的信號是激光相干后產(chǎn)生的光亮暗變化條紋，前置放大器采用直流放大器，該系統必然存在直流光平和直流電平的漂移問(wèn)題，抗干擾性差，工作不穩定.采用雙頻激光測量系統，激光束是包含有兩個(gè)頻率f1和f2且幅值相等的光束，.分別表示為：

　　脈沖數N。由以上分析可見(jiàn)雙頻激光測量系統實(shí)際上是一個(gè)交流測量系統，前置放大器可采用高倍率的交流放大器，因此無(wú)零點(diǎn)漂移，抗干擾性好，工作穩定，光強衰減到90%仍然能得到所需要的信號。國內外IC加工設備廣泛采用美國HP公司生產(chǎn)的5501型雙頻激光測量系統，作為精密定位x一y工件臺的位置測量系統。