<dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn><dfn id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></dfn><dfn id="yhprb"></dfn><dfn id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></dfn><dfn id="yhprb"></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"><strike id="yhprb"></strike></s></dfn><small id="yhprb"></small><dfn id="yhprb"></dfn><small id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></small><small id="yhprb"></small><small id="yhprb"></small> <delect id="yhprb"><strike id="yhprb"></strike></delect><dfn id="yhprb"></dfn><dfn id="yhprb"></dfn><s id="yhprb"><noframes id="yhprb"><small id="yhprb"><dfn id="yhprb"></dfn></small><dfn id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></dfn><small id="yhprb"></small><dfn id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn> <small id="yhprb"></small><delect id="yhprb"><strike id="yhprb"></strike></delect><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn><dfn id="yhprb"></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"><strike id="yhprb"></strike></s></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn>

新聞中心

EEPW首頁(yè) > 測試測量 > 設計應用 > 雙頻激光測量系統及其在lC加工設備中的應用

雙頻激光測量系統及其在lC加工設備中的應用

作者: 時(shí)間:2012-05-24 來(lái)源:網(wǎng)絡(luò ) 收藏

  前言

  IC加工設備例如電子束曝光機、圖形發(fā)生器以及投影光刻機中的精密定位x一y工件臺系統,實(shí)際上是帶有座標測量的雙向定位工件臺系統,工件臺系統的定位精度直接影響圖形加工精度。眾所周知,工件臺系統精度是機械結構精度和測量系統精度的綜合,精密定位工件臺的座標測量方法普遍采用激光干涉儀法。因此在設計合理的工件臺機械結構的同時(shí),必須合理選擇高精度、高速度和高可靠性的測量系統。美國HP公司生產(chǎn)的5501型雙領(lǐng)激光側量系統普遍地應用于IC加工設備中。表1列出幾種電子柬曝光機、投影光刻機以及圖形發(fā)生器中采用精密定位工件臺的。

  系統的特點(diǎn)

  以往采用的單頻激光測量系統是一個(gè)直流測量系統,接收器接收到的信號是激光相干后產(chǎn)生的光亮暗變化條紋,前置放大器采用直流放大器,該系統必然存在直流光平和直流電平的漂移問(wèn)題,抗干擾性差,工作不穩定.采用系統,激光束是包含有兩個(gè)頻率f1和f2且幅值相等的光束,.分別表示為:

  

  

  

  脈沖數N。由以上分析可見(jiàn)雙頻激光測量系統實(shí)際上是一個(gè)交流測量系統,前置放大器可采用高倍率的交流放大器,因此無(wú)零點(diǎn)漂移,抗干擾性好,工作穩定,光強衰減到90%仍然能得到所需要的信號。國內外IC加工設備廣泛采用美國HP公司生產(chǎn)的5501型雙頻激光測量系統,作為精密定位x一y工件臺的位置測量系統。

干涉儀相關(guān)文章:干涉儀原理



上一頁(yè) 1 2 3 下一頁(yè)

評論


相關(guān)推薦

技術(shù)專(zhuān)區

關(guān)閉
国产精品自在自线亚洲|国产精品无圣光一区二区|国产日产欧洲无码视频|久久久一本精品99久久K精品66|欧美人与动牲交片免费播放
<dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn><dfn id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></dfn><dfn id="yhprb"></dfn><dfn id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></dfn><dfn id="yhprb"></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"><strike id="yhprb"></strike></s></dfn><small id="yhprb"></small><dfn id="yhprb"></dfn><small id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></small><small id="yhprb"></small><small id="yhprb"></small> <delect id="yhprb"><strike id="yhprb"></strike></delect><dfn id="yhprb"></dfn><dfn id="yhprb"></dfn><s id="yhprb"><noframes id="yhprb"><small id="yhprb"><dfn id="yhprb"></dfn></small><dfn id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></dfn><small id="yhprb"></small><dfn id="yhprb"><delect id="yhprb"></delect></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn> <small id="yhprb"></small><delect id="yhprb"><strike id="yhprb"></strike></delect><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn><dfn id="yhprb"></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"><strike id="yhprb"></strike></s></dfn><dfn id="yhprb"><s id="yhprb"></s></dfn>