利用吉時(shí)利4200-SCS型優(yōu)化小電流測量的最佳解決方案
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圖11所示為保護消除可能會(huì )通過(guò)測試夾具內隔離絕緣體的原理。在圖11a中，漏流(IL)通過(guò)隔離絕緣體(RL)。該漏流增加至來(lái)自于DUT(IDUT)，然后被SMU安培計測得(IM)，對小電流測量的準確度造成不利影響。
圖11.利用保護減小測試夾具中的漏流
在圖11b中，金屬安裝板被連接至SMU的保護端子。隔離絕緣體頂部和底部的電壓接近相同電勢(0V壓降)，所以在隔離絕緣體中就不會(huì )有漏流影響測量準確度。由于金屬安裝板將處于保護電勢，所以為安全起見(jiàn)，金屬屏蔽必須連接至地。
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