齒輪測量技術(shù)新進(jìn)展
圖11 激光全息齒面測量的結構圖
圖12 齒面測量實(shí)例
圖13為在該儀器上測量大阪精機公司制造的齒輪漸開(kāi)線(xiàn)樣板的結果。所用測針的頂端曲率半徑為2μm,因而可以測量齒面的粗糙度。圖14為松下電器產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)的采用原子力測頭的超精密三維測量?jì)x。由于測頭按直線(xiàn)方向配置,故齒輪測量受到一定限制,但在測量限定齒數的齒輪樣板時(shí),其測量精度可達到納米級。
圖13 漸開(kāi)線(xiàn)樣板的測量
圖14 超精密三維測量機
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