精密高壓穩壓電源的研究與設計
介紹了用于新型電子束曝光機的30 kV精密高壓穩壓電源。該電源系統采用了直接調整和間接調整相結合的雙閉環(huán)調整方案,采用了集中補償和分散補償相結合的系統補償方式,成功地解決了既有高靜態(tài)精度又有高動(dòng)態(tài)穩定性的問(wèn)題。為了保證高精度、高穩定性和低紋波電壓等技術(shù)指標的實(shí)現,采取了多項合理的特定電路設計。針對電源系統輸出直流高壓這一特點(diǎn),對關(guān)鍵技術(shù)采取了針對性的切實(shí)有效的技術(shù)處理,從而滿(mǎn)足了高壓電源的高可靠性和長(cháng)期高穩定性的性能要求。各項技術(shù)指標均達到或超過(guò)原設計要求。
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