靜電放電及其防護
一. 術(shù)語(yǔ)及定義
1. 靜電: 物體表面過(guò)?;虿蛔愕撵o止的電荷
2. 靜電場(chǎng):靜電在其周?chē)纬傻碾妶?chǎng)
3.靜電放電:兩個(gè)具有不同靜電電位的物體,由于直接接觸或靜電場(chǎng)感應引起兩物體間的靜電電荷的轉移。靜電電場(chǎng)的能量達到一定程度后,擊穿其間介質(zhì)而進(jìn)行放電的現象就是靜電放電。
4.靜電敏感度:元器件所能承受的靜電放電電壓
5.靜電敏感器件:對靜電放電敏感的器件
6.接地 :電氣連接到能供給或接受大量電荷的物體,如大地,船等.
7.中和: 利用異性電荷使靜電消失
8.防靜電工作區:配備各種防靜電設備和器材,能限制靜電電位,具有明確的區域界限和專(zhuān)門(mén)標記的適于從事靜電防護操作的工作場(chǎng)地
二、靜電的產(chǎn)生:
1.摩擦:在日常生活中,任何兩個(gè)不同材質(zhì)的物體接觸后再分離,即可產(chǎn)生靜電,而產(chǎn)生靜電的最普通方法,就是摩擦生電。材料的絕緣性越好,越容易是使用摩擦生電。另外,任何兩種不同物質(zhì)的物體接觸后再分離,也能產(chǎn)生靜電;。
2. 感應: 針對導電材料而言,因電子能在它的表面自由流動(dòng),如將其置于一電場(chǎng)中,由于同性相斥,異性相吸,正負電子就會(huì )轉移。
3. 傳導:針對導電材料而言,因電子能在它的表面自由流動(dòng),如與帶電物體接觸,將發(fā)生電荷轉移。
三、靜電對電子工業(yè)的影響
集成電路元器件的線(xiàn)路縮小,耐壓降低,線(xiàn)路面積減小,使得器件耐靜電沖擊能力的減弱,靜電電場(chǎng)(Static Electric Field)和靜電電流(ESDcurrent)成為這些高密度元器件的致命殺手。同時(shí)大量的塑料制品等高絕緣材料的普遍應用,導致產(chǎn)生靜電的機會(huì )大增。日常生活中如走動(dòng),空氣流動(dòng),搬運等都能產(chǎn)生靜電。人們一般認為只有CMOS類(lèi)的晶片才對靜電敏感,實(shí)際上,集成度高的元器件電路都很敏感。
A.靜電對電子元件的影響
A) 靜電吸附灰塵,改變線(xiàn)路間的阻抗,影響產(chǎn)品的功能與壽命。
B) 因電場(chǎng)或電流破壞元件的絕緣或導體,使元件不能工作(完全破壞)。
C) 因瞬間的電場(chǎng)或電流產(chǎn)生的熱,元件受傷,仍能工作,壽命受損。
B、靜電損傷的特點(diǎn):
1.隱蔽性人體不能直接感知靜電,除非發(fā)生靜電放電,但發(fā)生靜電放電,人體也不一定能有電擊的感覺(jué)。這是因為人體感知的靜電放電電壓為2-3KV。
2.潛伏性有些電子元器件受到靜電損傷后性能沒(méi)有明顯的下降,但多次累加放電會(huì )給器件造成內傷而形成隱患,而且增加了器件對靜電的敏感性。已產(chǎn)生的問(wèn)題并無(wú)任何方法可治愈。
3.隨機性電子元件什么情況下會(huì )遭受到靜電破壞呢?可以這么說(shuō),從一個(gè)元件生產(chǎn)后一直到它損壞以前所有的過(guò)程都受到靜電的威脅,而這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機性。由于靜電的產(chǎn)生和放電都是瞬間發(fā)生的,及難預測和防護。
4.復雜性靜電放電損傷分板工作,因電子產(chǎn)品的精細,微小的結構特點(diǎn)而費時(shí)、費事、費錢(qián),要求較復雜的技術(shù)往往需要使用掃描電鏡等精密儀器,即使如此有些靜電損傷現象也 難以與其他原因造成的損傷加以區別,使人誤把靜電損傷失效當作其它失效,這是對靜電放電損害未充分認識之前,常常歸咎于早期失效或情況不明的失效 ,從而不自覺(jué)的掩蓋了失效的真正原因。
5.嚴重性ESD問(wèn)題表面上看來(lái)只影響了制成品的用家,但實(shí)際上亦影響了各層次的制造商,如:保用費、維修及公司的聲譽(yù)等等。
四、ESD三種型式
1. 人體型式即指當人體活動(dòng)時(shí)身體和衣服之間的摩擦產(chǎn)生摩擦電荷。當人們手持ESD敏感的裝置而不先拽放電荷到地,摩擦電荷將會(huì )移向ESD敏感的裝置而造成損壞。
2.微電子器件帶電型式既指這些ESD敏感的裝置,尤其對塑料件,當在自動(dòng)化生產(chǎn)過(guò)程中,會(huì )產(chǎn)生摩擦電荷,而這些摩擦電荷通過(guò)低電阻的線(xiàn)路非常迅速地瀉放到高度導電的牢固接地表面,因此造成損壞;或者通過(guò)感應使ESD敏感的裝置的金屬部分帶電而造成損壞。
3.場(chǎng)感類(lèi)型式即有強電場(chǎng)圍繞,這可能來(lái)之于塑性材料或人的衣服,會(huì )發(fā)生電子轉化跨過(guò)氧化層。若電位差超過(guò)氧化層的介電常數,側會(huì )產(chǎn)生電弧以破壞氧化層,其結果為短路。
4.其它還有:?髂J?、场澡幙腜?、软炲靳橍腜?、悼d蘺詈夏P?、?∑骷?P汀?br>五、靜電防護
1. 接地

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