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摻硼p+-Si外延層厚度的測試方法
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時(shí)間：2017-02-27
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(4)用水將樣品沖洗干凈。
4測試過(guò)程
(1)將待測樣品與載片塊貼在一起放到金相顯微鏡的載物臺上，樣品斷面垂直于物鏡。圖2(a)給出了樣品斷面腐蝕前正面觀(guān)察示意圖。圖2(b)給出樣品斷面腐蝕后側面觀(guān)察示意圖。
(2)調節金相顯微鏡，直到目鏡中出現如圖3所示的外延層與襯底的界面。
(3)轉動(dòng)金相顯微鏡測微尺中的標線(xiàn)，直到目鏡中的標線(xiàn)與外延層的一邊重合，此時(shí)將顯示表讀數復位。
(4)再次轉動(dòng)金相顯微鏡測微尺中的標線(xiàn)，直到目鏡中的標線(xiàn)與外延層的另外一邊重合，此時(shí)顯示表上的讀數即為外延層的厚度。
5結果分析
采用上述方法本文對幾種厚度的樣品進(jìn)行了測量。結果表明，該方法具有一定的準確度，表1給出了采用磨角染色法測量的外延層厚度與采用本方法測量的結果對比。
從表1可以看出，采用該方法進(jìn)行外延層厚度測量時(shí)，測量結果與采用磨角染色法測量的外延層厚度的結果比較吻合。
在樣品腐蝕過(guò)程中，由于樣品的斷面為<110>晶向，因此，襯底層斷面的腐蝕速率很快，通常在較短的時(shí)間內即腐蝕出臺階。
6結論
與磨角染色法相比，本文所提出的p+-Si外延層厚度的測量方法簡(jiǎn)單易行，可以測量p+／p結構的外延層厚度，且該方法具有一定的準確度。該方法可以作為外延工藝的檢測手段，以加強對外延過(guò)程的監控；并且該方法僅適用于高濃度摻雜的p型外延層厚度的測量，B摻雜的濃度不小于5×1019cm-3。
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