晶閘管旁路滅弧原理圖

圖 晶閘管旁路滅弧原理圖

較大功率（100kW以上）的離子滲氮設備通常采用晶閘管旁路滅弧，其電路如圖所示。電路的陰陽(yáng)極間并聯(lián)了一個(gè)晶閘管V，在輝光放電過(guò)渡到弧光放電前，電源對電容器C1經(jīng)電阻R1充電到電源電壓，當弧光放電時(shí)，陰陽(yáng)極間電壓突然下降，電容C1放電，脈沖變壓器TM原、副邊中產(chǎn)生脈沖電流，使V觸發(fā)導通，陰陽(yáng)極間短路，因此弧光熄滅。此時(shí)LC構成振蕩回路，當流過(guò)V的放電電流為零時(shí)（電壓已反向），V即自動(dòng)關(guān)斷。電源經(jīng)限流電阻R、濾波電感L0重新對電容器C1充電至輝光放電所需的電壓，而重新起輝。由于V的導通時(shí)間只需十幾個(gè)μs，故弧光放電只經(jīng)很短時(shí)間即被旁路，弧光放電強度大為減弱。
這種電路也有其缺點(diǎn)：在大功率情況下，很小的限流電阻會(huì )產(chǎn)生很大的功率損耗。晶閘管旁路滅弧是以陰陽(yáng)極間的電壓突然下降作為觸發(fā)信號的，起輝時(shí)，如起輝電壓較高，起輝后電壓會(huì )突然下降，造成晶閘管的誤觸發(fā)，為此，必須加一點(diǎn)燃陰極，以降低起輝電壓，點(diǎn)燃陰極自陰極引出，距陽(yáng)極2mm～3mm。