導電聚合物薄膜電阻率測量系統的設計
1.3 電流的限制
半導體材料電阻率測量時(shí)對流過(guò)樣品的電流有比較嚴格的要求:
(1)電流不能過(guò)小,以確保內側探針間電壓可測;
(2)電流不能過(guò)大,以減小熱效應對樣品電阻率的影響;
(3)測量較大電阻率樣品時(shí),應該減小注入電流,以減小少子注入的影響。
流通電流影響樣品電阻率值,但是通常電阻率不受電流影響的范圍是很廣的,根據這個(gè)范圍的界限可以得出安全操作電流。
本方法中流經(jīng)測試樣品的電流:

2 系統設計
系統采用LPC2148 ARM7芯片為數學(xué)運算和控制的核心單元,系統結構如圖3所示。本文引用地址:http://dyxdggzs.com/article/194975.htm
2.1 控制處理單元
控制處理單元包括LCD液晶顯示電路、鍵盤(pán)輸入電路、串口通信電路、反饋控制電路1和2和微控制器。預置限流電阻Rc用于限定小電阻率材料測量時(shí)通過(guò)的電流,流過(guò)的電流可由式(9)計算得出。全量程范圍內可保證測量電流小于2 mA。各參數與檔位如表1所示。
2.2 信號調理單元
包括可控恒壓產(chǎn)生電路、差分放大電路、比率測量電路和模數(A/D)轉換電路。恒壓源采用ADR01,產(chǎn)生10 V的基準電壓輸出,進(jìn)一步得到0.1 V和0.01 V的基準信號;圖2中內側兩探針間電壓的測量采用AD620差分放大電路及高精度運放AD546,通過(guò)反饋控制電路2調節增益電阻RG來(lái)改變輸出信號的幅度;模/數轉換電路采用16位的∑-△型AD7705,使用3.401V參考電壓時(shí)測量分辨率到達52μV/LSB。如圖4所示。
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