應用材料公司推出先進(jìn)的化學(xué)機械研磨拋光墊技術(shù)

 

近日，應用材料公司宣布為200mm CMP（化學(xué)機械研磨）系統推出創(chuàng )新的Applied DuraPad CMP（化學(xué)機械研磨）拋光墊技術(shù) 。DuraPad的使用壽命比現有的研磨墊至少延長(cháng)了30%，有效地增加了機臺的有效使用時(shí)間，替客戶(hù)節約了可觀(guān)的擁有成本。在DuraPad制造過(guò)程中采用先進(jìn)的six-sigma 制造技術(shù)保證了研磨墊不同批次之間性能的一致性，從而確保獲得良好的CMP研磨效果。

應用材料公司全球服務(wù)部總經(jīng)理兼資深副總裁Manfred Kerschbaum表示：“作為工藝消耗品的研磨墊對于應用材料公司來(lái)說(shuō)是一個(gè)新的市場(chǎng)，也是我們同Praxair Electronics公司合作的重要成果。CMP系統最主要的消耗品就是研磨墊。我們感到非常興奮可以把新的研磨墊技術(shù)帶給我們的客戶(hù)，幫助客戶(hù)顯著(zhù)提高研磨墊的使用壽命、改善機臺研磨效果并且降低設備擁有成本。此外，DuraPad與現有的研磨墊在使用上很相似，只需為特定的工藝條件做很小的調整和修改?！?

DuraPad的性能之所以能達到高度的一致性，關(guān)鍵在于制造過(guò)程中基片的交叉結合和處理工藝。單個(gè)研磨墊從基片上以接近凈尺寸的大小裁剪出來(lái)，然后進(jìn)行后續處理，保證了良好的墊上均一度和研磨墊之間的一致性。DuraPad還整合了Praxair公司擁有專(zhuān)利的氮氣起泡法，該方法優(yōu)化了研磨墊內的氣孔結構，降低了缺陷率并減少了研磨液的使用量。

DuraPad拋光墊是應用材料公司在CMP領(lǐng)域內豐富經(jīng)驗的結晶。應用材料CMP系統的全球裝機量已經(jīng)超過(guò)了2000臺。DuraPad研磨墊已經(jīng)在我們主要客戶(hù)的CMP應用中得到驗證。