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mems開(kāi)關(guān)介紹

MEMS開(kāi)關(guān)就是MEMS技術(shù)的具體應用。顧名思義,開(kāi)關(guān)就是來(lái)控制電路通斷狀況的，高效、快速反應、準確、重復使用頻率、高可靠性是現代電路系統對開(kāi)關(guān)的特殊要求。MEMS開(kāi)關(guān)的研究始于1979年IBM的K.E.Peterson，隨后經(jīng)過(guò)了二十幾年的發(fā)展，由于薄膜的柔軟和變形，MEMS開(kāi)關(guān)始終沒(méi)有取得人們預期的成績(jì)。隨著(zhù)通訊頻率的不斷增高，現有的半導體開(kāi)關(guān)因不能滿(mǎn)足頻率的升高而失去開(kāi)關(guān)能力。MEMS開(kāi)關(guān)的 [ 查看詳細 ]

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