mems mlc 文章進(jìn)入mems mlc技術(shù)社區

基于A(yíng)RM與MEMS器件的微慣性測量裝置設計

　　在仿生推進(jìn)機理的研究中，精確測量魚(yú)類(lèi)尾鰭拍動(dòng)參數對于魚(yú)類(lèi)仿生推進(jìn)機理研究及工程應用具有重要的意義;然而，目前研究者大多采用分析高速攝像機拍攝的圖像獲得參數的觀(guān)測方法。這種方法受到環(huán)境與設備的限制，結果精確度較差。本設計是一種基于MEMS器件的生物運動(dòng)微慣性測量裝置。利用該裝置實(shí)現了對SPC-III機器魚(yú)尾鰭拍動(dòng)參數的精確測量，為國內首次利用MEMS器件進(jìn)行的活體魚(yú)尾鰭拍動(dòng)參數測量實(shí)驗打下了基礎，為機器魚(yú)仿生推進(jìn)設計理論提供支撐。　　1 設計要求和系統結構　　根據活體魚(yú)類(lèi)的生物特征和實(shí)驗本身的特
關(guān)鍵字： ARM MEMS

射頻工藝和手機射頻元件的集成策略

低頻和高頻RF無(wú)線(xiàn)系統的集成具有很大差異。2.采用高級CMOS工藝的掩膜成本很高，而將數字和RF集成由于RF設計...
關(guān)鍵字：集成聲表面波線(xiàn)性度多芯片封裝波段選擇熱特性雙極工藝 PASSI RF-MEMS 手機射頻

閃耀光柵數字微鏡的結構設計與驅動(dòng)仿真

　　基于MEMS的閃耀光柵數字微鏡顯示技術(shù)是一種全新的顯示技術(shù), 它的基本工作原理為：平行的復合白色光線(xiàn)以固定的入射角照射在閃耀光柵微鏡陣列上，驅動(dòng)電路驅動(dòng)每個(gè)像素單元的閃耀光柵微鏡偏轉不同角度，在特定的衍射方向上得到的R、G、B以及不可見(jiàn)波長(cháng)的光線(xiàn)經(jīng)過(guò)成像鏡頭后形成彩色畫(huà)面。　　微鏡結構設計的基本要求　　閃耀光柵數字微鏡顯示技術(shù)的核心部件是閃耀光柵數字微鏡。要達到便攜應用和投影應用的目的，閃耀光柵數字微鏡結構設計需滿(mǎn)足以下基本要求。　　盡可能減小顯示單元的尺寸　　為了得到準確的基色，要求
關(guān)鍵字： MEMS 閃耀光柵數字微鏡結構驅動(dòng)

單電容式及差分電容式MEMS傳感器檢測系統

摘要：傳感器技術(shù)是信息社會(huì )的四大支柱之一，傳感器和計算機結合形成的智能系統大大的拓展了人類(lèi)生活的空間。在傳感器家族中，根據電容的物理特性制作的傳感器占有重要地位。電容傳感器是很好的狀態(tài)傳感器，可提高電容檢測，尤其是微小電容檢測的精度，是目前測控技術(shù)的熱點(diǎn)。本文重點(diǎn)介紹一套微小電容差分高精度檢測電路，該套電路可測物體的運動(dòng)加速度，加速度計的分辨率可達2-18。關(guān)鍵詞：電容式傳感器；MEMS；信號調理；檢測電路電容式傳感器工作原理 ?　　電容式傳感器分單電容式和差分電容式二種。如圖
關(guān)鍵字：單電容式差分電容式 MEMS 傳感器 200803

MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制

　　1 引言　　大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預報、氣候分析、環(huán)境監測、航空航天等方面發(fā)揮著(zhù)不可替代的作用。傳統的壓力傳感器一般為機械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術(shù)不僅可以解決上述缺點(diǎn)，還能極大地降低成本，而性能更為優(yōu)異。如今基于MEMS技術(shù)得到廣泛應用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩大類(lèi)，壓阻式壓力傳感器的線(xiàn)性度很好，但精度一般，溫漂大，一致性差;電容式壓力傳感器與之相比，精度更高，溫漂小，芯片結構更具魯棒性，但線(xiàn)性度差且易受寄生電容的影響。目前MEMS電容式壓力傳感器多用
關(guān)鍵字： MEMS

MEMS固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器的設計與制作

　　1 引言　　風(fēng)速及風(fēng)向的測量是氣象觀(guān)測中重要的一環(huán)。風(fēng)速風(fēng)向可以基于流體力學(xué)原理、熱學(xué)原理、聲學(xué)原理和仿生學(xué)原理來(lái)測量。熱式測風(fēng)儀基于風(fēng)對熱體的對流作用來(lái)測量風(fēng)速和風(fēng)向，其存在一個(gè)精密的熱源，通過(guò)把兩對相對的熱源與熱電偶正交放置測量風(fēng)向。超聲測風(fēng)儀可以同時(shí)進(jìn)行超聲波的發(fā)射和接收，基于多普勒效應測量風(fēng)速，用三個(gè)或者四個(gè)探頭根據三角關(guān)系測量風(fēng)向信息?；贛EMS技術(shù)傳感器有體積小、重量輕及成本低的特點(diǎn)，基于MEMS技術(shù)的風(fēng)速和風(fēng)向測量傳感器受到了研究者的重視。　　本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風(fēng)速風(fēng)
關(guān)鍵字： MEMS

MEMS傳感器進(jìn)駐汽車(chē)發(fā)動(dòng)機

　　近年來(lái)，從半導體集成電路(IC)技術(shù)發(fā)展而來(lái)的MEMS (微電子機械系統)技術(shù)日漸成熟。利用這一技術(shù)可以制作各種性能敏感的力學(xué)量、磁學(xué)量、熱學(xué)量、化學(xué)量和微生物的微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實(shí)現許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構成大規模和多功能陣列，這些特點(diǎn)使得它們非常適合于汽車(chē)方面的應用。 MEMS將成為汽車(chē)傳感器的主流技術(shù) 　　20世紀80年代微型加速度傳感器開(kāi)始用于汽車(chē)安全氣囊，它們是到目前為止大量生產(chǎn)的、并在汽車(chē)中得到廣泛應用的微型傳感器。然而微型傳感器的
關(guān)鍵字： MEMS 傳感器

MEMS機油壓力傳感器可靠性研究

1 引言　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專(zhuān)用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發(fā)展起來(lái)的高新技術(shù)，用MEMS技術(shù)研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，它們已經(jīng)開(kāi)始逐步取代基于傳統機電技術(shù)的壓力傳感器。目前已有多種MEMS壓力傳感器應用到了汽車(chē)電子系統中，如發(fā)動(dòng)機共軌壓力、機油壓力、歧管空氣進(jìn)氣壓力、汽車(chē)胎壓壓力等。其中機油壓力傳感器是用于測量汽車(chē)發(fā)動(dòng)機油壓力的重要傳感器，其可靠性直接關(guān)系到汽車(chē)和人的安全性。本文選用MEMS壓力芯片，成功開(kāi)發(fā)出汽車(chē)發(fā)動(dòng)機機油壓力傳
關(guān)鍵字： MEMS 傳感器

汽車(chē)MEMS傳感器應用及發(fā)展

摘要：本文通過(guò)大量的文獻資料，評述汽車(chē)MEMS（微機電系統）傳感器的應用現狀及發(fā)展趨勢，其中重點(diǎn)介紹幾種傳感器的原理和結構，同時(shí)對該領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化也進(jìn)行了探討。關(guān)鍵詞：汽車(chē)傳感器、微機電系統、力敏器件。一、引言　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專(zhuān)用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發(fā)展起來(lái)的高新科技，其研究開(kāi)發(fā)主要集中在微傳感器、微執行器和微系統三個(gè)方面，目前主導MEMS市場(chǎng)的傳感器已形成產(chǎn)業(yè)。用此技術(shù)研制的五花八門(mén)的微傳感器具有體積小、質(zhì)量輕、響應快、靈敏度高、易生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，可以測量各種物理
關(guān)鍵字： MEMS 傳感器

傳統半導體廠(chǎng)商對MEMS的思考

最近幾年來(lái)MEMS（Micro Electro MECHANICAL Systems）技術(shù)在國內外得到了迅猛的發(fā)展，MEMS產(chǎn)品已經(jīng)有了開(kāi)拓性的應用，MEMS產(chǎn)業(yè)鏈將會(huì )迅速掘起，預計2007年全球MEMS元器件銷(xiāo)售總額將突破70億美元。
關(guān)鍵字：半導體 MEMS

傳感器：與IC趨于集成MEMS遍及高端

汽車(chē)電子控制系統的“正常運轉”離不開(kāi)傳感器的保駕護航，通過(guò)傳感器可將各種諸如壓力、流量、位置、高度、距離、速度、轉速、溫度等信號傳遞到動(dòng)力系統、安全系統等控制單元，達到汽車(chē)正常駕駛的目的。
關(guān)鍵字：傳感器 IC MEMS

三軸加速度計在水下結構振動(dòng)測試中的應用

電子產(chǎn)品世界,為電子工程師提供全面的電子產(chǎn)品信息和行業(yè)解決方案,是電子工程師的技術(shù)中心和交流中心,是電子產(chǎn)品的市場(chǎng)中心,EEPW 20年的品牌歷史,是電子工程師的網(wǎng)絡(luò )家園
關(guān)鍵字： MEMS ADXL330

飛思卡爾建成先進(jìn)的200-mm MEMS生產(chǎn)線(xiàn)

　　飛思卡爾半導體建成先進(jìn)的微機電系統(MEMS)200-mm(8-inch)生產(chǎn)線(xiàn)來(lái)滿(mǎn)足不斷增長(cháng)的傳感器市場(chǎng)需求。這套新生產(chǎn)線(xiàn)是在飛思卡爾設在德克薩斯州奧斯汀的Oak Hill Fab建成的，是對公司在日本仙臺的現有150-mm(6-inch) MEMS生產(chǎn)線(xiàn)的補充。　　隨著(zhù)MEMS傳感器市場(chǎng)的持續增長(cháng)，大批量MEMS生產(chǎn)技術(shù)仍顯得至關(guān)重要。飛思卡爾在生產(chǎn)基于MEMS的傳感器方面已有25年以上的歷史，是業(yè)界領(lǐng)先的大批量傳感器提供商，可提供全面的加速、壓力和接近傳感器。借助可實(shí)現全面的傳感、控制、連接
關(guān)鍵字：飛思卡爾半導體 MEMS MCU和嵌入式微處理器

市場(chǎng)分析：大陸傳感器產(chǎn)業(yè)面臨新發(fā)展

　　中國傳感器近年來(lái)，通過(guò)技術(shù)引進(jìn)與改造，中國大陸敏感元件及傳感器業(yè)已形成一定的產(chǎn)業(yè)基礎與生產(chǎn)能力，MEMS等5項新型傳感器已列入研究開(kāi)發(fā)的重點(diǎn)。據信息產(chǎn)業(yè)部科技情報研究所編制的《2006～2007年中國電子廠(chǎng)商名錄》統計，目前中國大陸有455個(gè)從事敏感元件及傳感器生產(chǎn)的廠(chǎng)商，所涉及企業(yè)多達1,400多家，呈現出良好的發(fā)展態(tài)勢，但綜合實(shí)力較強的骨干企業(yè)較少。目前，能批量生產(chǎn)的產(chǎn)品涉及光敏、電壓敏、熱敏、力敏、氣敏、磁敏和濕敏7大類(lèi)，約3,000多個(gè)品種。據中國電子元件協(xié)會(huì )統計，2006年中國大陸傳感器產(chǎn)品
關(guān)鍵字：傳感器 MEMS 傳感器執行器

高通公司為韓國KTF提供低功耗顯示技術(shù)

　　美國高通公司的全資子公司高通MEMS技術(shù)有限公司今天宣布，韓國KT Freetel(KTF)公司宣布選擇高通公司基于MEMS的 mirasol ™顯示技術(shù)用于其SHOW WCDMA監控系統。KTF是韓國最大的電信運營(yíng)商之一，也是韓國首家WCDMA無(wú)線(xiàn)運營(yíng)商。KTF公司和高通公司將在2008年國際消費電子展的高通公司合作伙伴展區(南3號館，展位號30340)上展示該SHOW監控系統。　　KTF的SHOW監控系統利用3G WCDMA將SHOW攝像裝置拍攝的實(shí)況視頻傳輸到指定的移動(dòng)電話(huà)，是進(jìn)
關(guān)鍵字：高通 MEMS KTF 音視頻技術(shù)