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美國科銳在SiC基片市場(chǎng)上占有較高份額
- 制造SiC功率元件不可缺少的SiC基片(晶圓)的品質(zhì)在不斷提升。不僅是目前主流的直徑為4英寸(100mm)的產(chǎn)品,6英寸(150mm)產(chǎn)品的結晶缺陷也越來(lái)越少。 美國科銳(Cree)在SiC基片市場(chǎng)上占有較高份額,從該公司在SiC國際學(xué)會(huì )“ICSCRM2013”(2013年9月29日~10月4日于日本宮崎縣舉行)上發(fā)表的內容來(lái)看,截至2013年,功率元件用6英寸產(chǎn)品的微管密度在1個(gè)/cm2以下,平均水平為0.5個(gè)/cm2左右,較好時(shí)可達到0.01個(gè)/cm2。據估算,采
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