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Point 35 Microstructures將氧化物釋放添加到MEMS制造系列
- 全球微機電系統（MEMS）產(chǎn)業(yè)蝕刻和沉積設備供應商Point 35 Microstructures公司，今日在上海宣布推出汽相氧化物釋放蝕刻模塊，進(jìn)一步擴展其微機電系統(MEMS) 單晶圓制造memsstar?產(chǎn)品系列。這項新增的技術(shù)將確保MEMS器件設計師得到更多的生產(chǎn)選擇，同時(shí)帶來(lái)了寬泛的制造工藝窗口和各種工藝控制等等好處，從而使良率得到了最大的提升。 SVR-vHF氧化物釋放模塊結合現有的memsstar? SVR-Xe 犧牲性汽相釋放(SVR)模塊，利用無(wú)水氫氟蒸汽(aH
- 關(guān)鍵字： Point 35 Microstructures，SVR，MEMS
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