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半導體線(xiàn)寬檢測的首個(gè)ISO國際標準發(fā)布
- 近日，國際標準化組織（ISO）正式發(fā)布了微束分析領(lǐng)域中的一項國際標準：“基于測長(cháng)掃描電鏡的關(guān)鍵尺寸評測方法”（Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466)），該標準由中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)物理學(xué)院和微尺度物質(zhì)科學(xué)國家研究中心的丁澤軍團隊主導制定，是半導體線(xiàn)寬測量方面的首個(gè)國際標準，也是半導體檢測領(lǐng)域由中國主導制定的首個(gè)國際標準，
- 關(guān)鍵字： 半導體 ISO國際標準 線(xiàn)寬檢測
中國科大主導制定半導體線(xiàn)寬檢測的首個(gè)ISO國際標準
- 近日,國際標準化組織(ISO)正式發(fā)布了微束分析領(lǐng)域中的一項國際標準:“基于測長(cháng)掃描電鏡的關(guān)鍵尺寸評測方法”(Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466)),該標準由中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)物理學(xué)院和微尺度物質(zhì)科學(xué)國家研究中心的丁澤軍團隊主導制定,是半導體線(xiàn)寬測量方面的首個(gè)國際標準,也是半導體檢測領(lǐng)域由中國主導制定的首個(gè)國際標準,
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iso國際標準介紹
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