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高能離子注入機
高能離子注入機 文章 進(jìn)入高能離子注入機技術(shù)社區
中國高能離子注入機核心技術(shù)難關(guān)得到突破！
- 據“中國電科”報道，國內高能離子注入機核心技術(shù)難關(guān)得到突破！由中國電科所屬北京爍科中科信設備研發(fā)團隊自主研制的國內首臺高能離子注入機已順利進(jìn)駐國內先進(jìn)集成電路大生產(chǎn)線(xiàn)。作為集成電路芯片制造的關(guān)鍵設備，離子注入機設備的研制難度極大、研制基礎薄弱，其應用也非常廣泛，不僅可以用做大規模集成電路和器件和半導體材料的離子注入，還能用于金屬材料表面改性和制膜等方面。其中，低能大束流離子注入機被應用于制程邏輯、DRAM、3D存儲器和CIS芯片制造中，高能離子注入機則較多應用在功率器件、IGBT、5G射頻、CIS、邏輯芯
- 關(guān)鍵字： 高能離子注入機 中國電科
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高能離子注入機介紹
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