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高介電
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高介電常數柵電介質(zhì)/金屬柵極的FA CMP技術(shù)
- 高介電常數柵電介質(zhì)和金屬柵極技術(shù)(以下簡(jiǎn)稱(chēng)HKMG)使摩爾定律在45/32納米節點(diǎn)得以延續。目前的HKMG工藝有兩 ...
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高介電介紹
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