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超音波數組
超音波數組 文章 進(jìn)入超音波數組技術(shù)社區
隔空觸覺(jué)應用看漲 imec開(kāi)發(fā)微型超音波數組技術(shù)
- 比利時(shí)微電子研究中心（imec），于本周舉行的2022年IEEE國際超音波會(huì )議（International Ultrasonics Symposium），展示了新型壓電式微型超音波換能器（pMUT）數組，它能與平面顯示器（FPD）制程技術(shù)兼容。新型數組可以隔空感測高于1kPa的聲壓，滿(mǎn)足隔空觸覺(jué)與指向聲波應用。 （A）包含22個(gè)直徑為500μm環(huán)形pMUT的相控數組大范圍影像（B）細部影像此次開(kāi)發(fā)的pMUT技術(shù)不再聚焦晶圓制程，而是朝向與平面顯示器技術(shù)兼容的方向發(fā)展，方便將來(lái)與隔空感測應用整合，
- 關(guān)鍵字： 隔空觸覺(jué) imec 超音波數組
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超音波數組介紹
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