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我國“超級針”X射線(xiàn)成像系統成功實(shí)現自主研制
- 近日，中國電科38所發(fā)布自主研制的新一代無(wú)損檢測設備——“超級針”X射線(xiàn)成像系統，這是全國首臺“超級針”X射線(xiàn)成像系統。該系統擁有“火眼金睛”般的缺陷檢測能力，成像分辨率小于1微米?！ ‰S著(zhù)集成電路向高集成度、微型化方向發(fā)展，先進(jìn)封裝工藝對封裝檢測設備提出新的需求和挑戰。一方面，更精細的封裝尺度要求設備分辨率提升至亞微米級，但目前國際上可生產(chǎn)亞微米級分辨率設備的廠(chǎng)商屈指可數;另一方面，隨著(zhù)芯片制造及封裝過(guò)程中越來(lái)越多地使用硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料，對輕元素材料的檢測需求日益凸顯，對設備檢測范圍提出
- 關(guān)鍵字： 超級針 X射線(xiàn)
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超級針介紹
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