薄膜致動(dòng)器 文章 進(jìn)入薄膜致動(dòng)器技術(shù)社區

由薄膜致動(dòng)器驅動(dòng)的微型機器人可以變形、鎖定形狀并不受束縛地運行

• 清華大學(xué)的機器人專(zhuān)家團隊與來(lái)自北京航空航天大學(xué)的三位同事合作，設計了一種新型微型機器人，該機器人可以不斷改變其形狀并“鎖定”為特定配置。在他們發(fā)表在《自然機器智能》雜志上的論文中，該小組描述了他們設計的因素、微型機器人的功能以及它們的可能用途。新型微型機器人功能的關(guān)鍵是該團隊開(kāi)發(fā)的薄膜形狀小型致動(dòng)器——它是通過(guò)在硅晶片上旋轉一層硅膠涂層，然后在基板上轉移印刷聚酰亞胺薄膜制成的。然后，使用電子束蒸發(fā)、光刻和銅層的濕法蝕刻添加一層銅。它是用激光切割完成的。當添加傳感器、電機和類(lèi)似樂(lè )高積木的積木時(shí)，該致動(dòng)器允許
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