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EEPW首頁(yè) >> 主題列表 >> 白光干涉儀

使用白光干涉儀過(guò)程中的疑問(wèn)

  • 1、問(wèn)：測量到最小尺寸能否達到12ΜM，或者能夠測到更小尺寸？答：可以，垂直分辨率是0.1nm，XY分辨率依物鏡而有...
  • 關(guān)鍵字： 白光干涉儀  分辨率  掃瞄器  
共1條 1/1 1

白光干涉儀介紹

　　白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術(shù)，是專(zhuān)為準確測量表面輪廓、粗糙度、臺階高度和其他表面參數而設計的微納米測量系統,，為韓國SAMSUNG全球唯一指定供應商，LPL友好俱樂(lè )部成員，清華大學(xué)，臺灣大學(xué)，首爾大學(xué)友好合作伙伴?！　?、非接觸式測量：避免物件受損?！　?、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-200μm?！　?、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換?！　?、納米級分辨率：垂直分 [ 查看詳細 ]

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