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電子束光刻機
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電子束光刻機將用于芯片量產(chǎn)？
- 近日，一些媒體報道了英國部署近日，一些媒體報道了英國部署電子束光刻機相關(guān)的新聞，并號稱(chēng)打破 ASML 的 EUV 技術(shù)壟斷。部分報道甚至號稱(chēng)這是全球第二臺電子束光刻機，能繞過(guò) ASML。實(shí)際上當前沒(méi)有任何信息表面該電子束曝光機可以用于 5nm 制程的芯片量產(chǎn)的光刻環(huán)節。在這些媒體的報道中，英國似乎已經(jīng)拳打 ASML，腳踢 EUV 了。那事實(shí)真的如此嗎？實(shí)際情況到底如何呢？英國部署全球第二臺 200kV 電子束光刻設備實(shí)際上，英國南安普敦大學(xué)宣布的是，成功開(kāi)設了日本以外首個(gè)分辨
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電子束光刻機介紹
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