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深紫外激光技術(shù)
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應用材料公司推出Applied DFinder檢測系統
- 應用材料公司推出Applied DFinder檢測系統，用于在22納米及更小技術(shù)節點(diǎn)的存儲和邏輯芯片上檢測極具挑戰性的互連層。作為一項突破性的技術(shù)，該系統是首款采用深紫外(DUV)激光技術(shù)的暗場(chǎng)檢測工具，使芯片制造商具有前所未有的能力，在生產(chǎn)環(huán)境中檢測出圖形化晶圓上極小的顆粒缺陷，從而提高產(chǎn)品良率。DFinder系統專(zhuān)門(mén)針對互連層的檢測而設計，因此總擁有成本比其它暗場(chǎng)檢測系統最多可降低40%。這對芯片制造而言是一項非常關(guān)鍵的優(yōu)勢，因為在這個(gè)過(guò)程中可能會(huì )涉及50多個(gè)獨立的檢測步驟。
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深紫外激光技術(shù)介紹
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