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微型光機電系統
微型光機電系統 文章 進(jìn)入微型光機電系統技術(shù)社區
發(fā)展中的MOEMS壓力傳感器
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- 關(guān)鍵字: 微型光機電系統 MOEMS 光學(xué)壓力傳感器 傳感器 壓力傳感器
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微型光機電系統介紹
微型光機電系統的英文縮寫(xiě)是“MOEMS”,它是微光學(xué)、微電子、微機械的結合產(chǎn)生出一類(lèi)新的應用范圍很廣的器件。MOEMS日益成為新的光學(xué)工具,已經(jīng)對許多基于光學(xué)的儀器顯示出應用前景?! ?959年,1965年諾貝爾物理學(xué)獎獲得者Richard P Feynman提出微型機械的構想?! ?962年,硅微型壓力傳感器問(wèn)世,之后50~500微米的齒輪,齒輪泵,氣動(dòng)渦輪及聯(lián)接件等微系統問(wèn)世?! ?966 [ 查看詳細 ]
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