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微加速度計
微加速度計 文章 進(jìn)入微加速度計技術(shù)社區
田字形單質(zhì)量塊三軸電容式微加速度計的設計與仿真
- 介紹了一種田字形單質(zhì)量塊三軸電容式微加速度計的設計與仿真。該加速度計以SOI晶圓作為基片，經(jīng)過(guò)氧化、光刻、干法刻蝕和濕法刻蝕等工藝步驟得到。通過(guò)支撐梁和3個(gè)軸的敏感結構的巧妙設計，有效避免了平面內和垂直方向的交叉軸干擾的影響，并提高了Z軸的靈敏度。通過(guò)差分電容的設計，理論上消除了交叉軸干擾。通過(guò)仿真得到了該加速度計在3個(gè)軸向上的靈敏度及抗沖擊能力。結合理論分析和ANSYS仿真結果，可以得出結論：所設計的加速度計擁有較低的交叉軸干擾、較高的靈敏度以及較強的抗沖擊能力，在慣性傳感器領(lǐng)域有一定的應用前景。
- 關(guān)鍵字： 微加速度計 SOI 交叉軸干擾 靈敏度
一種基于微加速度計的無(wú)線(xiàn)教鞭系統設計
- 摘要：為彌補多媒體教學(xué)中激光筆的不足，提出了一種基于微加速度計的無(wú)線(xiàn)教鞭系統，它不僅具有激光筆上下翻頁(yè)的功能，而且能在空中自由靈活移動(dòng)實(shí)現高精度點(diǎn)擊的功能，該系統以微加速度計ADXL345作為信號檢測元件，并采用低功耗低成本微控制器AT89S52和RF芯片nRF24 L01進(jìn)行信息處理與無(wú)線(xiàn)傳榆，符合人體工程學(xué)設計，最大限度地滿(mǎn)足人們使用鼠標時(shí)在手感以及舒適度和使用習慣方面的要求。 目前多媒體教學(xué)或會(huì )議演示中已經(jīng)用到無(wú)線(xiàn)教鞭，但是更多的只能用來(lái)文檔的翻頁(yè)，所以使用時(shí)還得配合有線(xiàn)或無(wú)線(xiàn)的鼠標，正由
- 關(guān)鍵字： 無(wú)線(xiàn)教鞭系統 微加速度計 ADXL345
復合量程微加速度計動(dòng)態(tài)特性分析
- 1 引言
隨著(zhù)硅微機械技術(shù)的不斷發(fā)展，基于壓阻原理的微加速度計已成為商品。由于硅的機械性能優(yōu)良，這些微加速度計往往具有較高的抗過(guò)載能力。然而，有些物理過(guò)程存在相差上百倍的多個(gè)加速度值需要測量，需要測 - 關(guān)鍵字： 復合量程 動(dòng)態(tài)特性 分析 微加速度計
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