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復合量程
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復合量程微加速度計動(dòng)態(tài)特性分析
- 1 引言
隨著(zhù)硅微機械技術(shù)的不斷發(fā)展，基于壓阻原理的微加速度計已成為商品。由于硅的機械性能優(yōu)良，這些微加速度計往往具有較高的抗過(guò)載能力。然而，有些物理過(guò)程存在相差上百倍的多個(gè)加速度值需要測量，需要測 - 關(guān)鍵字： 復合量程 動(dòng)態(tài)特性 分析 微加速度計
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復合量程介紹
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