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動(dòng)力學(xué)系統
動(dòng)力學(xué)系統 文章 進(jìn)入動(dòng)力學(xué)系統技術(shù)社區
新型光學(xué)加速度傳感器動(dòng)力學(xué)性能設計
- 引 言 動(dòng)力學(xué)振動(dòng)系統是眾多慣性傳感器中的重要組成部分，其參數的選取決定了傳感器的性能的優(yōu)劣。針對基于菲涅耳衍射微透鏡的新型光學(xué)加速度傳感器設計了一種簡(jiǎn)單實(shí)用的敏感加速度的振動(dòng)系統，它是由一個(gè)微彈性機械結構連接在外框架上構成。微彈性機械結構不僅是微型加速度傳感器重要組成部分，而且，在微型驅動(dòng)器、微位移計、微陀螺儀及其他慣性傳感器中也有著(zhù)重要的應用，在微機電系統(MEMS)中發(fā)揮著(zhù)重要的作用。目前，MEMS中類(lèi)似于微彈性機械結構的敏感裝置主要有硅懸臂梁、直角彈性結構及結構更復雜的硅彈簧等。微彈性機
- 關(guān)鍵字： 模擬技術(shù) 電源技術(shù) 傳感器 動(dòng)力學(xué)系統 傳感器 執行器
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動(dòng)力學(xué)系統介紹
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